In der Fertigungsstätte darf eine Lampe nicht zu einem ungünstigen Zeitpunkt ausfallen. Sie bringt die Produktion zum Stillstand – gerade dann, wenn man es am wenigsten erwartet. Dadurch wird die Qualität der fotolithografischen Prozesse beeinträchtigt, und die Wafer müssen entsorgt werden, bevor man überhaupt die Ursache des Problems finden kann.
Wir haben Ersatzlampen für ASML-Lithographiergeräte entwickelt, damit die Temperaturkontrolle gewährleistet bleibt – egal ob das Gerät bei 250°C zum Trocknen der Fotolackschicht verwendet wird oder bei 120°C nach der Belichtung.
Es kommt dabei auf die Emittoren an. Kurzwellen- und Mittelwellenhalogenelemente in Quarzkapseln sorgen für eine schnelle, stabile Reaktion sowie eine präzise Kontrolle des Spektrums. Dadurch wird eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf den Wafern erreicht – innerhalb von ±0,1°C über die gesamte Oberfläche der Heizplatte. Dadurch bleibt die CD-Kontrolle unbeeinflusst durch Temperaturschwankungen.
Die Leistung der Lampen entspricht den Anforderungen der ASML-Stepper- und Scanner-Geräte. Die Lampen können direkt in die vorhandenen Anschlüsse eingesteckt werden – ohne weitere Verkabelung. Zudem sind die Materialien so beschaffen, dass sie kaum Gase abgeben und keine Partikel erzeugen. Dadurch bleiben die Partikelzahlen im Reinraum konstant, selbst während des Austauschs der Lampen.
Die Realität ist folgende: Die Anlagen arbeiten 24/7 – daher muss auch die Lampe mitarbeiten. Unsere Ersatzlampen garantieren eine genaue Temperaturkontrolle, sodass die Reproduzierbarkeit der Prozesse gewährleistet bleibt. Dadurch entstehen weniger Probleme, die einen Neubeginn der Produktion erfordern.
Der Energieverbrauch wird auf das gewünschte Niveau abgestimmt, wodurch die Kosten pro Wafer reduziert werden. Da die Austauschintervalle vorhersehbar sind, kann die Wartung termingerecht erfolgen – dadurch wird die Produktionsunterbrechung minimiert.
Ein paar Dinge sollten beachtet werden: Vor dem Kauf sollten Sie die Spannung sowie die Konfiguration der Lampe an Ihre spezifische ASML-Plattform anpassen. Außerdem sollte die Trockenheitsmethode nach der Installation noch einmal überprüft werden.
Selbst bei gleichbleibender Wärmeentwicklung kann es bei den ersten Wafern nach dem Austausch zu geringen Temperaturunterschieden kommen. Deshalb sollte eine kurze Qualifikationsreihe durchgeführt werden.
Außerdem sollten Ersatzlampen stets im Reinraum bereitstehen. Wenn die Produktion stillsteht, möchte man schließlich nicht auf eine Lieferung warten müssen.