Warum wir uns so sehr auf die Isolierung in Halbleiterheizungen konzentrieren
Bei der Verwendung von Halbleiterheizungen reicht es nicht aus, wenn die Isolierung „ausreichend“ ist. Es wird eine äußerst hohe thermische Stabilität benötigt. Um das zu erreichen, bauen wir hochpräzise Thermoelemente direkt in die Heizelemente ein.
Doch hier liegt das Problem: Diese Sensoren befinden sich in Hochspannungsumgebungen. Wenn die Isolierung auch nur für einen Bruchteil einer Sekunde versagt, kann das dazu führen, dass der Controller beschädigt wird oder dass die verwendeten Wafer unbrauchbar werden. Das ist ein Albtraum, den niemand haben möchte.
Warum wir jeden einzelnen Sensor testen – ohne Ausnahme
Einige Firmen führen nur eine Stichprobenprüfung durch – sie prüfen einige Bauteile und gehen davon aus, dass die anderen in Ordnung sind. Wir tun das nicht. Jeder einzelne Thermoelement muss vor dem Verlassen unseres Betriebs einer Hochspannungsprüfung sowie einer Prüfung der Isolierwiderstandsfähigkeit unterzogen werden. Warum? Weil mikroskopisch kleine Risse in der Keramikhülle oder winzige Löcher in der Isolierung mit bloßem Auge nicht sichtbar sind. Doch eine Hochspannungsprüfung kann das sofort erkennen.
Wir setzen die Spannung weit über die Normalwerte hinaus. Damit stellen wir sicher, dass die Isolierung auch bei starken Belastungen nicht versagt und kein Stromleck entsteht.
Der Kampf zwischen Sicherheit und Geschwindigkeit
Es gibt immer ein Kompromiss. Um eine zuverlässige elektrische Abschirmung zu gewährleisten, werden in der Regel dickere Keramikhüllen oder spezielle Aluminiumoxidkomposite verwendet. Das Problem ist jedoch, dass dicke Wände die Reaktionszeit des Sensors verlangsamen – dadurch entstehen leichte Verzögerungen bei den Temperaturmessungen. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem. Wir investieren viel Zeit in die Anpassung der Materialien, damit Sie die notwendige Sicherheit haben, ohne dabei an der Empfindlichkeit des Sensors zu verlieren.
Was das für Ihren Betrieb bedeutet
Wenn Sie diese Sensoren in Ihre Geräte integrieren, müssen Sie sich keine Sorgen mehr um die Sicherheitsaspekte machen. Ehrlich gesagt: Wenn ein Sensor in unserer Prüfung durchfällt, betrachten wir das als Erfolg. Das bedeutet, dass ein defektes Teil nicht in Ihre Maschine gelangt ist. Eine gute Isolierung verhindert außerdem, dass „Geisterspannungen“ in den Signalkreis eindringen. Dadurch bleiben die PID-Schleifen stabil und es entstehen keine störenden Temperaturschwankungen. Wenn Sie mit hoher Spannung arbeiten, ist das die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass der Sensor nicht bereits unter Last versagt.