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Calentador de obleas eficiente en energía

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Deje de calentar las paredes de la cámara Si alguna vez ha trabajado con sistemas de calefacción convencionales o omnidireccionales en una cámara de...
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Calentador para el secado de obleas de sensores MEMS

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Mantener las obleas secas y limpias (y así obtener altas tasas de rendimiento) Cuando se secan las obleas de sensores MEMS en una sala limpia de...
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Sensor de temperatura para herramienta de obleas

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Calentamiento por infrarrojos vs. aire forzado: ¿Cuál método funciona realmente para el procesamiento de obleas? Si está pensando en pasar del uso de...
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Distancia de seguridad para el calentamiento de la oblea

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Obtener más calor en las obleas Cuando se calientan las obleas de silicio, en realidad se trata de luchar contra la pérdida de energía. El problema...
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Sensor IR de precisión para obleas

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Mantener seguros los calentadores infrarrojos en zonas con químicos volátiles Seamos honestos: la limpieza de obleas es una tarea peligrosa. Se...
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Lámpara infrarroja para el procesamiento de obleas de vidrio

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En la planta de fabricación, el procesamiento de los wafer de vidrio no permite margen alguno para errores térmicos. Si la temperatura durante el...
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Casquillo de lámpara infrarroja para herramienta de obleas

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En el piso de fabricación, una deriva de 2°C durante el horneado del fotoresistente es suficiente para desechar una gran cantidad. El rendimiento no...
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Módulo de secado de obleas de 200 mm

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En la línea de 200 mm, el paso de secado después de la limpieza es donde una pequeña variación de temperatura se convierte en un verdadero dolor de...
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Reflector para lámpara de curado de obleas

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En planta, el horneado del fotoresistente no es opcional: es tu presupuesto térmico. Un cambio de 1°C puede modificar el CD, y una partícula...
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