Calentador de obleas eficiente en energía
Deje de calentar las paredes de la cámara
Si alguna vez ha trabajado con sistemas de calefacción convencionales o omnidireccionales en una cámara de...
Calentador para el secado de obleas de sensores MEMS
Mantener las obleas secas y limpias (y así obtener altas tasas de rendimiento)
Cuando se secan las obleas de sensores MEMS en una sala limpia de...
Sensor de temperatura para herramienta de obleas
Calentamiento por infrarrojos vs. aire forzado: ¿Cuál método funciona realmente para el procesamiento de obleas?
Si está pensando en pasar del uso de...
Distancia de seguridad para el calentamiento de la oblea
Obtener más calor en las obleas
Cuando se calientan las obleas de silicio, en realidad se trata de luchar contra la pérdida de energía. El problema...
Sensor IR de precisión para obleas
Mantener seguros los calentadores infrarrojos en zonas con químicos volátiles
Seamos honestos: la limpieza de obleas es una tarea peligrosa. Se...
Lámpara infrarroja para el procesamiento de obleas de vidrio
En la planta de fabricación, el procesamiento de los wafer de vidrio no permite margen alguno para errores térmicos. Si la temperatura durante el...
Casquillo de lámpara infrarroja para herramienta de obleas
En el piso de fabricación, una deriva de 2°C durante el horneado del fotoresistente es suficiente para desechar una gran cantidad. El rendimiento no...
Módulo de secado de obleas de 200 mm
En la línea de 200 mm, el paso de secado después de la limpieza es donde una pequeña variación de temperatura se convierte en un verdadero dolor de...
Reflector para lámpara de curado de obleas
En planta, el horneado del fotoresistente no es opcional: es tu presupuesto térmico. Un cambio de 1°C puede modificar el CD, y una partícula...