در کارخانههای تولید، فرآیند حرارتدهی به فیلمهای فوتواستاتیک، یک توقف موقت نیست؛ بلکه یک مرحله ضروری برای انجام کار است. اگر دما تغییر کند، کنترل دقت سطح سطحی ویفر نیز از بین خواهد رفت. در این صورت، لامپ خاموش شده و فرآیند تولید متوقف میشود. ما این لامپ مادون قرمز را برای دستگاههای Applied Materials طراحی کردهایم تا این عدم قطعیتها را از بین ببرد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟ این لامپ از امواج مادون قرمز کوتاه برای ایجاد گرمای سریع و قابل کنترل استفاده میکند؛ بنابراین میتوانید کنترل دقت دمایی را در هر دو روش حرارتدهی حفظ کنید. یکنواختی سطح سطحی ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ این امر باعث میشود که پروفایل حرارتی در هر بار تولید یکسان باقی بماند. این لامپ در محیطهای پاکسازی شده کلاس ۱ تا ۱۰۰ نصب میشود؛ همچنین طراحی آن به گونهای است که افزایش ذرات در هر چرخه حرارتدهی وجود نداشته باشد. پوشش کوارتزی و رشتههای الکتریکی این لامپ، در طول هزاران ساعت کاری، پایداری خود را حفظ میکنند؛ همچنین اتصالات آن نیز با اتصالات دستگاه هماهنگ است.
چرا این لامپ در سیستمهای لیتوگرافی واقعی کارایی دارد؟ در فرآیندهای لیتوگرافی ۲۴/۷، زمان توقف غیرمنتظره، به معنای ویفرهایی است که دیگر قابل بازیابی نیستند. این لامپ برای کار مداوم طراحی شده است؛ در عمل، هیچ خرابی غیرمنتظرهای در آن رخ نداده است. مدت زمان تعمیرات نیز بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت است؛ بنابراین میتوانید از بازههای تعمیراتی قابل پیشبینی، عملکرد پایدار دستگاه و بازدهی مناسب برخوردار باشید. مصرف انرژی نیز کم است؛ زیرا پاسخ لامپ سریع بوده و اتلاف انرژی کنترل شده است؛ در نتیجه، هزینه حرارتی برای هر ویفر کمتر خواهد بود.
نکاتی برای نصب لامپ: لامپ را در محدوده توان و تنظیمات الکتریکی دستگاه نصب کنید. انحرافات کوچک میتواند بر پروفایل حرارتی تأثیر بگذارد. پس از جایگزینی لامپ، انتظار داشته باشید که تا رسیدن به تعادل حرارتی، مدت زمان کوتاهی لازم باشد؛ همچنین، در اولین بار استفاده، باید یک فرآیند آزمایشی انجام شود تا پارامترهای مناسب تعیین شوند. این لامپ، با توجه به ویژگیهای دستگاه، عملکرد یکسانی را روز به روز ارائه میدهد.