دیگر نیازی نیست دیوارههای اتاق را گرم کنید!
اگر تا به حال با سیستمهای گرمایش استاندارد در اتاقهای تولید نیمههادی کار کردهاید، میدانید که این کار چقدر آزاردهنده است. شما سعی میکنید ویفر را گرم کنید، اما در نهایت فقط همه چیز جز ویفر گرم میشود.
دیوارههای داخلی اتاق بسیار داغ میشوند؛ بدنه ابزارها نیز آسیب میبیند. همچنین، کارکنان نیز در معرض خطرات جدی قرار میگیرند. این کار هم اتلاف انرژی است و هم مشکلات زیادی برای همه افراد مرتبط ایجاد میکند.
ما این مشکل را به روش متفاوتی حل میکنیم. از لامپهای مادون قرمز استفاده میکنیم؛ این لامپها انرژی را دقیقاً در همان جایی که باید، یعنی روی ویفر، تخصیص میدهند.
نحوه کارکرد این لامپها
فکر کنید به یک هیتر مقاومتی؛ این هیتر انرژی را در تمام جهات، یعنی ۳۶۰ درجه، پخش میکند. این روش بسیار ناکارآمد است.
لامپهای مادون قرمز ما از منعکسکنندهها و تنظیمات طول موج خاصی برای انتقال انرژی استفاده میکنند. در نتیجه، انرژی در یک جهت خاص منتقل میشود. ویفر به دمای مورد نظر میرسد، و بقیه قسمتهای دستگاه سرد باقی میمانند.
مزایا و معایب (و نحوه مقابله با آنها)
این لامپهای پرقدرت، انرژی زیادی تولید میکنند؛ اما این امر به این معناست که نمیتوانید از سیستمهای خنککننده غفلت کنید. اگر تنظیمات لامپها اشتباه باشد یا منعکسکنندهها کثیف شوند، انرژی دوباره به دیوارهها سرازیر خواهد شد. راه حل این است که طول موج لامپها را به درستی تنظیم کنید؛ در این صورت، انرژی فقط روی ویفر خواهد ماند.
تأثیرات این روش بر فرآیندهای تولید
اولاً، سیستمهای خنککننده تأسیسات شما کمتر کار خواهند کرد.
همچنین، پروفایل حرارتی ویفر بهتر خواهد بود؛ در نتیجه، یکنواختی فرآیند تولید نیز بهبود خواهد یافت. علاوه بر این، نگهداری از دستگاه نیز آسانتر خواهد بود؛ چون دیگر نیازی نیست با گرمای باقیمانده در دیوارهها مبارزه کنید.
فقط یک نکته مهم: مطمئن شوید که منبع تغذیه دستگاه بتواند تحمل این تغییرات را داشته باشد؛ این لامپها تقریباً بلافاصله به حداکثر توان خود میرسند. آنها مانند عناصر سرامیکی قدیمی، به آرامی گرم نمیشوند.
این روش نیاز به تعادل خاصی دارد؛ شما میتوانید چرخههای تولید را سریعتر انجام دهید، اما باید کنترلکنندههای PID دستگاه را به گونهای تنظیم کنید که پاسخ سریعی داشته باشند؛ تا از فراتر رفتن از دمای مورد نظر جلوگیری شود.