در محیط کارخانه، یک جابجایی 0.3°C در طی فرایند پخت فتورزیست کافی است تا حجم زیادی از محصولات به ضایعات تبدیل شوند. شما پیشتر در حال کنترل یکنواختی CD، پروفایل رزین و تعداد ذرات هستید، اما تغییرات دمایی به طور مداوم باعث کاهش بازدهی و زمان کارکرد میشود. ما هیتر دیود لیزری نیمهرسانا را برای حذف این نوسان از ریشه ساختیم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
این دستگاه منبع دیود لیزری را با یک پشته حرارتی مهندسی شده ترکیب کرده است تا یکنواختی در سطح ویفر را در حدود ±0.1°C در سطح پخت تضمین کند. زمان پاسخدهی کمتر از 300 میلیثانیه است، بنابراین دما پس از باز و بسته شدن در سریعاً تثبیت میشود و تکرارپذیری از یک بار اجرا به بار بعدی در محدوده ±0.05°C باقی میماند. بدنه هیتر از کوارتز و سرامیک با خلوص بالا ساخته شده است، بدون آزادسازی بایندر و در محیطهای Class 1–100 به صورت پاک کار میکند، بهطوری که تولید ذرات زیر 0.1 ذره بر سانتیمتر مربع نگه داشته میشود. سیستم بسته و حلقه بسته است و سنسور کالیبره شدهای که در چندین منطقه نقشهبرداری شده در اختیار دارد، بنابراین میتوانید جبرانهایی بر اساس دستورپخت برای اثرات لبه اعمال کنید.
دلایل پایداری آن در لیتوگرافی این است که پخت نرم و پخت سخت ویسکوزیته، چسبندگی و بعد بحرانی روی رزین را تنظیم میکنند. وقتی بودجه حرارتی پایدار باشد، توزیع CD محدودتر میشود، اصلاحات بعدی کمتر میشود و ضایعات ناشی از ویژگیهای متصل یا پایدار کاهش مییابد.
همین پایداری باعث کاهش توقفهای ناخواسته میشود—دیگر خطاهای صفحه پخت ندارید و نیازی به انتظار برای نشست صفحه نیست. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا ثابت شدن سریع دما و تنظیم دقیق، از اضافهگرمای ناخواسته و گرمای حالت بیکار جلوگیری میکند که موجب هدررفت انرژی میشوند.
اگر در خطوط بستهبندی که وابسته به گرمایش کنترلشده برای آمادهسازی چسباندن دی هستند کار میکنید، تکرارپذیری مستقیماً حفظ میشود. تعداد حفرهها کمتر شده و درصد موفقیت اتصال در بار اول افزایش مییابد.
چند نکته عملی پیش از مشخص کردن دستگاه برای پروژهتان. هیتر با رابطهای ابزار استاندارد کار میکند، اما نقشه حرارتی باید در زمان نصب با هندسه صفحه و محل قرارگیری سنسورها همتراز شود. اجرای کوتاه راهاندازی برای تعیین آفست مناطق و محدودیتهای دستورپخت لازم است.
اپتیکها نیاز به پاکسازی با هوای خشک یا نیتروژن برای حفظ پایداری خروجی دارند. پنجره را به عنوان مصرفی در نظر بگیرید و بازههای تعویض آن را در برنامه نگهداری پیشگیرانه (PM) لحاظ کنید.