دیگر اجازه ندهید که خرابی لامپها، باعث از بین رفتن محصولات شما شود!
در خطوط تولید نیمههادی با بار کاری بالا، خرابی یک لامپ میتواند یک فاجعه باشد. مسئله فقط مربوط به توقف فعالیت خط تولید نیست؛ بلکه آلودگی ناشی از خرابی لامپ نیز مشکلات زیادی ایجاد میکند.
وقتی یک لامپ خراب میشود، تکههای کوارتز و اکسیدهای فلزی در اطراف ویفرها پخش میشوند. چنین آلودگیهایی میتوانند نه تنها یک ویفر را از بین ببرند، بلکه کل دسته ویفرها را نیز از بین ببرند. این موضوع منجر به هزینههای زیاد و مشکلات جدی میشود.
ما تصمیم گرفتیم این مشکل را با تغییر روش ساخت لامپهای مادون قرمز حل کنیم.
مشکل سیمکشی
بیشتر سیمهای استاندارد، نمیتوانند با چرخههای مداوم گرم شدن و سرد شدن لامپهای نیمههادی کنار بیایند؛ بنابراین این سیمها خراب میشوند.
ما از پوششهای Teflon (PTFE) با کیفیت بالا برای سیمها استفاده میکنیم. چرا؟ چون Teflon گازی تولید نمیکند و روی بدنه لامپ ذوب نمیشود. اگر عایقبندی سیمها خراب شود، آلودگیهای آلی روی ویفرها ایجاد میشود؛ اما Teflon در جای خود باقی میماند. این ویژگی، دقیقاً چیزی است که برای یک سیم مورد نیاز است.
حفظ سلامت کوارتز
بیشتر خرابیها به دلیل شوک حرارتی یا ضعف در اتصال کوارتز به الکترودها رخ میدهد. ما این اتصالات را تقویت کردیم تا هوا وارد نشود. این کار مانع از اکسید شدن فیلامنت تنگستن میشود؛ در نتیجه لامپ برای مدت طولانی سالم باقی میماند.
اما باید صادق باشیم: هیچ چیز ۱۰۰٪ محافظتشده نیست.
بنابراین ما از سپرهای محافظتی نیز استفاده میکنیم. این سپرها ممکن است مقدار کمی از اشعه مادون قرمز را مسدود کنند، اما در صورت خرابی لامپ، ذرات ناشی از خرابی لامپ را هم جذب میکنند. شما مقدار کمی از گرما را از دست میدهید، اما ویفرهایتان حفظ میشوند. این یک توافق خوب است.
توجه به تراکم گرما
لامپهای با توان بالا برای پردازش سریع نیمههادیها مناسب هستند؛ اما این میزان گرما، فشار زیادی روی کوارتز وارد میکند.
یک نکته مهم: حتماً سیستم خنککننده لامپ را بررسی کنید. اگر جریان هوا کافی نباشد، انتهای لامپ بیش از حد گرم شده و خراب میشود.
نکته خوب این است که این لامپها قابل جایگزینی هستند؛ شما نیازی به تعمیر دستگاه خود ندارید. فقط ولتاژ و توان لامپ را بررسی کنید، سیمها را وصل کنید، پیرامترهای دستگاه را تنظیم کنید، و دوباره میتوانید از آن استفاده کنید.