Sur le chantier de fabrication, une lampe ne doit pas tomber en panne au mauvais moment. Elle met l’ensemble de la ligne de production à l’arrêt au moment où on s’y attend le moins. Cela a des conséquences négatives sur le processus de cuisson du photorésistant, et les wafer doivent être rejetés avant même que l’on puisse identifier la cause réelle du problème.
Nous avons conçu des pièces de rechange pour nos lampes de lithographie ASML, afin de garantir un contrôle optimal de la température – que ce soit lorsque l’appareil fonctionne à 250°C pour la cuisson du photorésistant, ou à 120°C après l’exposition.
Tout repose sur les émetteurs : des éléments halogènes à ondes courtes et moyennes, situés à l’intérieur de boîtiers en quartz, permettent une réponse rapide et stable, avec un contrôle précis du spectre. Cela assure une homogénéité thermique parfaite sur les wafer, avec une variation inférieure à ±0,1°C, ce qui permet de maintenir une qualité constante, indépendamment de la température.
La puissance délivrée par la lampe est adaptée aux besoins de l’appareil ASML. Les lampes se connectent directement aux interfaces existantes, sans besoin de refaire des branchements. De plus, les matériaux utilisés sont de faible émission de gaz, ce qui évite toute génération de particules, ce qui est essentiel dans une salle propre de classe 1–100.
En réalité, le fonctionnement de la machine est 24/7, et la lampe doit suivre ce rythme. Nos pièces de rechange permettent de maintenir une précision constante de la température de cuisson du photorésistant, ce qui garantit une répétabilité du processus et réduit le nombre de retouches nécessaires.
La consommation d’énergie est ajustée en fonction du profil de cuisson souhaité, ce qui permet de réduire les coûts par wafer. De plus, comme les intervalles de remplacement sont prévisibles, la maintenance peut être planifiée, ce qui réduit les temps d’arrêt imprévus.
Quelques points importants à garder à l’esprit : avant d’ commander, vérifiez la tension de la lampe et sa configuration par rapport à votre plateforme ASML. Vérifiez également la procédure de cuisson après l’installation.
Même avec une masse thermique adaptée, il peut y avoir de légères variations de température sur les premiers wafer après un remplacement. Il est donc conseillé de réaliser un petit lot de tests avant de continuer.
Gardez également des pièces de rechange disponibles en stock dans la salle propre. Ainsi, si la ligne de production s’arrête, vous n’aurez pas à attendre une livraison.