Réflecteur pour lampe de durcissement de plaquette

Thu, 04 Jun 2026 00:59:02 +0800

Sur le sol de fabrication, le séchage du photoresist n’est pas optionnel—c’est votre budget thermique. Une variation de 1°C peut déplacer le CD, et une particule provenant d’un réflecteur fatigué peut mettre une plaquette au rebut. Le réflecteur dans votre lampe de durcissement est la première ligne de défense pour le contrôle thermique et la contamination.
Ce qui importe, techniquement, c’est un chiffre : une uniformité de température de ±0,1°C sur la plaquette pendant le séchage doux et le séchage dur. Nous construisons le réflecteur autour de cela, ajustant la géométrie pour vous offrir une zone isotherme répétable afin que le contrôle de la largeur de ligne ne dérive pas d’un lot à l’autre.
Le matériau est compatible avec la salle blanche, et la finition de surface minimise le dégazage et la génération de particules. Pas d’écaillage. Pas de migration. Et il maintient l’efficacité spectrale tout au long de la vie de la lampe, de sorte que le point de consigne reste le point de consigne et que le profil thermique reste stable.
En lithographie, vous avez besoin d’une performance de séchage sur laquelle vous pouvez compter, à chaque fois. Ce réflecteur maintient la distribution d’énergie constante, de sorte que l’écoulement du photoresist et l’élimination des solvants se comportent de la même manière sur la 300ème plaquette que sur la première. Le résultat est moins de retravaillages, une distribution de CD plus serrée et un rendement qui ne fluctue pas.
Il est également adapté à l’exploitation en salle blanche de classe 1 à 100, avec un contrôle des particules qui correspond à l’environnement. Vous bénéficiez d’un temps de fonctionnement car le système ne poursuit pas de dérive.
L’installation dépend de l’alignement—atteindre l’axe de la lampe et le plan du substrat. Un désalignement détruit l’uniformité et peut provoquer des points chauds. Assurez-vous que votre type de lampe et l’interface de montage du réflecteur sont alignés avant l’intégration.
Attendez-vous à un court rodage après le démarrage pour établir la carte thermique, puis requalifiez le profil de séchage. Traitez le réflecteur comme un consommable lié au contrôle de processus, et remplacez-le en fonction de l’uniformité mesurée et des tendances des particules, et non d’un calendrier.

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