מנורת אינפרא אדום לאפיית פולימידים

בתהליך הליתוגרפיה, כל שינוי קל בטמפרטורה עלול לפגוע בשליטה בעובי הקווים ובאיכות המוצר. אי-אחידות תרמית ברחבי הוואפר היא בעיה יקרה. לכן, פיתחנו נורה...