फैब्रिकेशन लाइन पर, लैंप कभी भी निर्धारित समय पर काम नहीं करता। यह ऐसे ही काम करना बंद कर देता है, जब आपको इसकी सबसे कम आवश्यकता होती है। इसके कारण फोटोरेसिस्ट की प्रक्रिया प्रभावित हो जाती है, और वेफरों को तब ही नष्ट करना पड़ता है, जबकि इसका वास्तविक कारण अभी तक पता ही नहीं चला होता।
हमने ASML लिथोग्राफी लैंपों के लिए स्पेयर पार्ट्स तैयार किए हैं, ताकि थर्मल बजट नियंत्रित रह सके – चाहे लैंप 250°C पर हो, या 120°C पर।
यह सब एमिटरों पर निर्भर है। क्वार्ट्ज आवरणों में मौजूद शॉर्ट-वेव एवं मीडियम-वेव हैलोजन तत्व, तेज़ एवं स्थिर प्रतिक्रिया प्रदान करते हैं; इससे वेफरों पर तापमान संतुलन ±0.1°C के भीतर ही रहता है। इससे CD नियंत्रण तापमान के कारण प्रभावित नहीं होता।
लैंपों का आउटपुट ASML स्टेपर एवं स्कैनरों के ऊर्जा बजट के अनुरूप होता है; इसलिए लैंपों को बिना किसी अतिरिक्त वायरिंग के ही मौजूदा कनेक्टरों में लगाया जा सकता है। क्लीनरूम में भी ऐसी ही स्थिति बनी रहती है – कम गैस उत्सर्जन एवं शून्य कण उत्पादन के कारण क्लास 1–100 में कणों की संख्या स्थिर रहती है।
वास्तविकता यह है कि लाइन 24/7 चलती रहती है, इसलिए लैंप को भी उसी गति से काम करना होता है। हमारे स्पेयर पार्ट्स, फोटोरेसिस्ट के तापमान को स्थिर रखने में मदद करते हैं; इससे प्रक्रिया की दोहरावीता बनी रहती है, एवं पुनः कार्य करने की आवश्यकता कम हो जाती है।
ऊर्जा खपत भी लक्षित तापमान प्रोफ़ाइल के अनुरूप ही होती है; इससे प्रति वेफर लागत कम रहती है। चूँकि रिप्लेसमेंट का समय पहले से ही निर्धारित होता है, इसलिए रखरखाव भी नियमित रूप से ही होता है, एवं अप्रत्याशित रूप से लाइन रुकने की संभावना कम हो जाती है।
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य हैं – ऑर्डर देने से पहले, अपने ASML प्लेटफॉर्म के अनुरूप लैंप का वोल्टेज एवं बेस कॉन्फ़िगरेशन जरूर जाँच लें; इसके बाद ही इंस्टॉलेशन के बाद तापमान सेटिंग्स की पुष्टि करें।
थर्मल मास समान होने के बावजूद, रिप्लेसमेंट के बाद पहले कुछ वेफरों पर तापमान में थोड़ा बदलाव हो सकता है; इसलिए एक छोटा सा टेस्ट जरूर करें।
क्लीनरूम में हमेशा स्पेयर पार्ट्स उपलब्ध रखें – ताकि लाइन रुकने पर आपको डिलीवरी का इंतज़ार न करना पड़े।