ガーデンヒーター
太陽がフェンスの向こうに沈むと、庭の雰囲気は快適なものから不快で居心地の悪いものに変わってしまいます。会話も途切れ、人々は手をポケットに入れます。誰もが準備ができる前に、夜が訪れてしまいます。しかし、パティオヒーターならそれを変えることができます。つまり、庭全体を温めようとするのではなく、人々がい...
屋外用放射暖房器
シャワーを終えて冷たい床の上に立つのは一つの問題です。しかし、グラウトやシーリング部分にカビが生えていくのを見るのはまた別の問題です。それは静かに快適さや健康を蝕んでいきます。屋外用の赤外線ヒーターを浴室に持ち込めば、暖かい空気だけでなく、湿気やカビが繁殖しやすい環境を変えてくれる効果的な赤外線の...
ASMLリソグラフィーランプのスペア部品
製造ライン上では、ランプが予定通りに動かないこともあります。思いがけないタイミングでラインが停止してしまい、それによってフォトレジストの硬化処理に影響が出ます。その結果、ウェーハの品質が悪化し、根本的な原因を突き止める前に廃棄されてしまいます。
私たちは、ASMLのリソグラフィー用ランプのスペア部...
ファブIR用電圧安定化回路
リソグラフィー工程においては、フォトレジストの焼成中に0.3℃の温度変動があるだけで、製品の寸法精度が悪化し、多くの不良品が生じます。安定性を後から追及するのではなく、設計段階でそれを考慮しておく必要があります。
技術的に重要な点 私たちは、温度均一性が目的ではなく、規格として定められている赤外線...
リモコン式ホットカーペット
半開放型の商業空間においては、快適さというのは特典ではなく、顧客が動き続け、スタッフがしっかりと業務をこなすための不可欠な要素です。寒さが厳しくなると、人々の移動が鈍り、スタッフも寒さで体調を崩し、それは企業にとって損失につながります。従来のやり方、つまり誰がいようと関係なくヒーターを最大出力で稼...
USB電源式ヒーター
市営施設――図書館、コミュニティセンター、メンテナンス用の施設など――では、暖房が定時に自動的に作動することが多い。その結果、空いている部屋は暑くなり、人がいる場所は冷え込んでしまいます。また、電力の消費量も増え続けます。公共建築物においては、快適さだけが問題ではありません。実際に支払える範囲内で...
TSV 透シリコンビア ヒーター
300mmウェーハを扱う際、熱分布が変動するとTSVの積層構造が崩れてしまいます。ウェーハ上でわずか1度の温度変動だけで、ビアが割れたり、フォトレジストがダメになったりして、1ヶ月分の作業が台無しになってしまいます。そのため、ヒーターは単に熱を供給するだけでなく、再現性のある熱供給が求められます。...
装飾用電気ヒーター
蒸気が立ち込め、空気も湿っている中で、最も避けたいのはヒーターが故障することです。バスルームでは、一般的な電球型のヒーターは危険を伴います。熱によってガラスが割れたり、突然故障したりする可能性があります。私たちが開発した装飾用の赤外線ヒーターは、「安全第一、快適さを重視」という原則に基づいて作られ...
太陽のような赤外線ヒーター
私たちは、シンプルな目標から始めました。つまり、どうすれば暖かさがその空間に自然と溶け込むように感じられるか、ということです。屋外での夜は、寒くなってしまい早く終わってしまうことが多く、一方、室内のヒーターは温度が不安定に変動し、部屋の空気を乾燥させてエネルギーを無駄にしてしまいます。私たちが望ん...
対流型ヒーター
秋が本格的に訪れると、暗闇の中で工具を使ってヒーターを修理するのは面倒です。ただ温かさが欲しいだけで、それもすぐに。5年が経つと、その信頼性へのニーズは実用的な問題へと変わります。つまり、ヒーターの部品が壊れた時、どうすればいいのかということです。多くのヒーターの場合、完全に分解して修理する必要が...
ファブ用に赤外線ランプをまとめ買いする
製造現場において、熱ドリフトは単なる理論上の問題ではありません。それは実際に生産効率を低下させる要因です。わずか0.5度の偏差でも、重要な寸法に影響を与え、溶剤の残留量が規格を超えてしまうことがあります。そのため、私たちは製造現場で使用する赤外線ランプには、熱バランスを安定させる機能を持たせていま...
アプライド・マテリアルズの装置用赤外線ランプ
ファブの現場では、フォトレジストのベーク処理は一時停止するわけではなく、むしろ重要な工程そのものです。温度が不安定になると、CD制御が機能しなくなります。ランプが消えると、生産ラインも停止します。私たちは、このような不確実性を解消するために、アプライド・マテリアルズの装置用にこの赤外線ランプを開発...
バスルーム用ミラーヒーター
温かいシャワーから冷たいバスルームに出ると、誰でも驚くほど寒さを感じます。タオルを手に取ると、その寒さが直ちに肌に伝わり、その瞬間の快適さを奪ってしまいます。しかし、鏡付きのヒーターなら、スイッチを入れるとすぐに赤外線による温かさが部屋中に広がり、部屋が快適な空間に変わります。
技術的に重要な点...
カスタム製造用赤外線ファブシステム
製造現場では、よく知られている通り、ベーク温度が0.5℃変動するだけで、回路の寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、結果として大量のロスが出てしまいます。したがって、クリーンルーム内の空気流やウェーハの形状、リソグラフィーのスケジュールなどの影響を受けずにも、サイクルごとに一貫した加熱が可能であるこ...
半導体レーザーダイオードヒーター
ファブフロアでは、フォトレジストのベイク工程中に0.3°Cの温度ドリフトが発生するだけで、多くのウェーハがスクラップになってしまう。既にCD均一性、レジストプロファイル、パーティクルカウントを管理しており、熱変動が歩留まりと稼働率を圧迫し続けている状況だ。そこで、この半導体レーザーダイオードヒータ...