ウェーハにより多くの熱を与える方法 シリコンウェーハを加熱するとき、実際にはエネルギーの損失と戦っていることになります。通常の反射板の問題点は、熱が漏れ出してしまうことです。多くの熱がチャンバーの壁に逃げてしまい、無駄になってしまいます。 そこで、私たちは金でコーティングされた反射板を使用します。...

つまり、性能の高い半導体用加熱要素を探しているわけですが、高額な価格を支払いたくないということですね。 では、実際に私たちの赤外線ヒーターがその役割を果たせるかどうかが問題です。 私たちが開発した真空オーブン用の加熱要素は、そのまま取り付け替えられるように設計されています。高度な製造プロセスで必要...

フロアではラインは決して止まらない—24時間365日、同じリズムで稼働する。キャリアを投入し、インターポーザをセットし、その熱処理ステップは02:00の時点でも14:00の時点でも同じ温度管理が求められる。熱プロファイルがずれると、フォトレジストのベークもずれ、CDが変動し、歩留まりが静かに悪化し...

高速加熱型産業用ヒーターの理解 このヒーターは現場のエンジニア向けに設計されており、待機時間を許容できない状況に対応しています。作業を進めたいのに機器の立ち上がりが遅れるという状況は、生産現場でよくある問題です。 そこで、本ユニットの中核には高出力ハロゲンランプを搭載しました。スイッチを入れた瞬間...