認定された赤外線硬化ランプ製造業者

Wed, 22 Jul 2026 02:16:12 +0800

清掃用の装置を火災の原因にしないようにしましょう。化学薬品を使った清掃作業を行う際は、実質的には可燃性の溶剤や爆発性の蒸気と共に作業していることになります。これは非常に危険な環境です。このような場所で通常の赤外線ランプを使用するのは、問題を招くだけです。わずかな火花やクォーツ管の微細な亀裂があれば、すぐに火災が発生してしまいます。

そのため、私たちは認定されたIR硬化ランプを特別な方法で製造しています。つまり、加熱要素を空気から隔離するのです。そうすることで、不必要な反応を防ぐことができます。

ウェーハ硬化ランプ用リフレクター

Thu, 04 Jun 2026 00:59:02 +0800

ファブフロアでは、フォトレジストのベークはオプションではなく、サーマルバジェットである。1°Cの変動はCDを移動させ、疲れたリフレクターからの粒子はウエハを廃棄させる。硬化ランプのリフレクターは、熱制御と汚染防止の最初の防御線である。

重要なのは1つの数字：ソフトベークおよびハードベーク中のウエハ全体の温度均一性が±0.1°Cであること。我々はこの数字に基づいてリフレクターを設計し、幾何学的形状を調整して、ロットごとにライン幅制御がずれない再現可能な等温ゾーンを提供する。材料はクリーンルームに適合しており、表面仕上げはガス放出と粒子生成を最小限に抑える。剥がれなし。移動なし。そして、ランプの寿命全体にわたって分光効率を保持するため、設定点は設定点のままで、熱プロファイルは安定したままである。リソグラフィーでは、毎回信頼できるベーク性能が必要である。このリフレクターはエネルギー分布を一貫して保つため、フォトレジストの流れと溶剤除去は300枚目のウエハでも最初のウエハと同じように動作する。得られる成果は、再作業の削減、CD分布の厳密化、そして歩留まりの変動の抑制である。また、クラス1–100のクリーンルーム操作に対応し、環境に合った粒子制御を備えている。システムがドリフトを追いかけていないため、稼働時間が確保される。取り付けはアライメントに依存する—ランプ軸を狙い、基板面に合わせる。アライメントのずれは均一性を損ない、ホットスポットを加熱させる可能性がある。統合前にランプタイプとリフレクター取り付けインターフェースが一致していることを確認する。起動後、熱マップを安定させるために短いバーンインを期待し、その後ベークプロファイルを再確認する。リフレクターはプロセス制御に結びついた消耗品として扱い、カレンダーではなく測定された均一性と粒子トレンドに基づいて交換する。

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認定された赤外線硬化ランプ製造業者

ウェーハ硬化ランプ用リフレクター