Di bilik pengeluaran, lampu tersebut tidak boleh gagal berfungsi pada masa yang ditetapkan. Ia akan berhenti berfungsi pada saat yang paling tidak dijangkakan, dan ini akan menyebabkan masalah pada proses pembakaran bahan fotoresist. Proses penyalutan lapisan pada wafer juga akan terganggu, dan wafer tersebut akan dibuang sebelum pun punca masalah dapat dikenal pasti.
Kami telah membina alat ganti untuk lampu litografi ASML agar suhu yang digunakan dapat dikawal dengan tepat – sama ada lampu tersebut beroperasi pada suhu 250°C untuk proses pembakaran lembut atau pada suhu 120°C untuk proses pembakaran selepas pendedahan cahaya.
Semuanya bergantung pada elemen-elemen halogen yang digunakan. Elemen-elemen halogen berfrekuensi pendek dan sederhana yang terdapat dalam selubung kuarza memastikan respons yang cepat dan stabil, serta kawalan spektrum yang ketat. Ini seterusnya memastikan keseragaman suhu pada setiap wafer dalam lingkungan ±0.1°C, sehingga kawalan ketepatan ukuran wafer tidak terjejas oleh perubahan suhu.
Keluaran tenaga lampu tersebut disesuaikan dengan keperluan peralatan ASML, dan lampu tersebut boleh dipasang secara langsung ke antaramuka sambungan yang sudah ada – tanpa perlu mengubah kabel. Ciri-ciri yang sesuai untuk bilik bersih juga turut disertakan: bahan-bahan yang menghasilkan gas yang sedikit serta tiada penghasilan zarah yang akan memastikan bilangan zarah pada tahap Class 1–100 kekal stabil semasa proses pertukaran lampu.
Realitinya, mesin tersebut beroperasi 24/7, jadi lampu tersebut harus dapat berfungsi dengan baik. Alat ganti yang kami sediakan memastikan suhu pembakaran bahan fotoresist tetap stabil, sehingga proses pengeluaran dapat berjalan dengan konsisten dan mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja ulang.
Penggunaan tenaga juga disesuaikan dengan profil pembakaran yang diinginkan, sehingga kos setiap wafer dapat dikurangkan. Selain itu, kerana jadual penggantian lampu dapat diramalkan, penyelenggaraan dapat dilakukan secara berkala, dan masa henti yang tidak dijangka dapat dikurangkan.
Beberapa perkara yang perlu diambil kira: Sebelum memesan lampu, pastikan voltan dan konfigurasi lampu tersebut sesuai dengan platform ASML yang digunakan. Pastikan juga prosedur pembakaran telah disahkan selepas pemasangan.
Walaupun dengan kawalan suhu yang baik, masih mungkin terdapat sedikit perubahan suhu pada beberapa wafer pertama setelah pertukaran lampu. Lakukan ujian pendek untuk memastikan semuanya berjalan lancar.
Simpan alat ganti tersebut di bilik bersih. Jika mesin berhenti beroperasi, anda tidak perlu menunggu pesanan penghantaran tiba.