
Mengapa kilang pengeluar semikonduktor beralih daripada menggunakan ketuhar konvensional kepada kaedah penyembuhan menggunakan sinar inframerah
Sejujurnya, ketuhar konvensional yang lama itu sebenarnya hanyalah kotak besar yang memerlukan banyak tenaga untuk menghasilkan udara panas. Prosesnya lambat, dan ia juga memakan ruang yang banyak. Dalam dunia di mana “tenaga hijau” bukan sekadar istilah kosong tetapi merupakan keperluan yang penting, ketuhar jenis ini sudah tidak lagi sesuai digunakan.
Itulah sebabnya semua orang beralih kepada kaedah penyembuhan menggunakan sinar inframerah. Perbezaannya ialah, berbanding dengan ketuhar konvensional yang memanaskan seluruh ruang untuk memanaskan wafer, sinar inframerah akan sampai terus ke permukaan wafer tersebut. Cara ini lebih efisien, dan tidak ada pembaziran tenaga untuk memanaskan ruang kosong di dalam ketuhar.
Penjelasan secara mudah
Anggaplah begitu: udara sebenarnya sangat buruk dalam menyalurkan haba. Sebaliknya, lampu inframerah menghantar gelombang elektromagnetik yang langsung sampai ke lapisan fotorezist atau bahan pelekat pada wafer. Prosesnya sangat cepat. Kerana pemindahan tenaga berlaku secara langsung, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer menjadi lebih singkat. Ini bermakna bil elektrik yang diperlukan juga akan berkurangan. Selain itu, kerana tiada penggunaan bahan kimia yang berbahaya untuk menghasilkan haba, tiada risiko pencemaran akibat bahan beracun atau VOC. Ia merupakan proses yang bersih dan efisien.
Bagaimana untuk menggunakan lampu inframerah dengan betul
Anda tidak boleh sekadar menggunakan lampu pemanas biasa. Untuk mendapatkan hasil yang tepat, kita perlu menggunakan lampu yang menghasilkan gelombang pendek atau sederhana. Lampu ini mampu menghasilkan haba yang tinggi dalam ruang yang kecil. Yang terbaik ialah kita boleh mengawal suhu di kawasan tertentu pada wafer, agar tidak timbul titik panas.
Namun, ada masalahnya: lampu ini boleh menjadi sangat panas. Jika sistem penyejukan tidak cukup efektif, komponen elektronik di sekitarnya akan rosak. Jika aliran udara lemah, badan lampu akan menjadi terlalu panas, dan filamen lampu akan cepat rosak. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik, kalau tidak, masalah baru akan timbul.
Apa maknanya bagi para pekerja di kilang
Kelebihan terbesar bagi para pekerja di kilang ialah kemudahan untuk menghidupkan mesin dengan cepat. Lupakan saja proses pemanasan yang memakan masa lama menggunakan ketuhar konvensional. Anda hanya perlu menekan butang, dan mesin pun akan berfungsi. Ini sangat berguna semasa pertukaran syif atau apabila hanya perlu memproses beberapa batch wafer sahaja.
Bagi para jurutera pula, ini bermakna mereka dapat meningkatkan kelajuan pengeluaran, dan ruang di bilik bersih juga akan menjadi lebih luas. Mereka dapat mencapai sasaran alam sekitar tanpa merosakkan kualiti wafer yang dihasilkan. Ini merupakan situasi yang saling menguntungkan.