Op de productieafdeling mag een lamp nooit falen op het juiste moment. De lamp doet het niet meer wanneer je het het minst verwacht. Hierdoor wordt de productielijn stilgelegd, en de wafer moeten worden weggegooid voordat je zelfs maar weet wat de oorzaak is van het probleem.
We hebben reserveonderdelen voor onze ASML-lithografielampen ontwikkeld, zodat de thermische condities constant blijven – of de lamp nu op 250°C werkt voor het ‘soft bake’-proces, of op 120°C na de expositie.
Het gaat hier om de emissoren: halogeen-elementen met korte en middellange golflengten, geplaatst in kwartsomhullingen. Hierdoor wordt er een snelle en stabiele reactie bereikt, met nauwkeurige controle over het spectrum. Dit zorgt voor een constante temperatuur op het oppervlak van de wafer, binnen een marge van ±0,1°C. Hierdoor blijft de kwaliteit van de wafer constant, ongeacht de temperatuur.
De uitgangsspanning van de lamp is afgestemd op de vereisten van de ASML-stepper- en scannerapparaten. De lampen kunnen rechtstreeks in de bestaande connectoren worden geplaatst, zonder dat er nieuwe kabels nodig zijn. Ook de eigenschappen van de lampen in een schone ruimte zijn goed doordacht: materialen die weinig gassen afgeven en geen deeltjes produceren, zorgen ervoor dat het aantal deeltjes in een klasse 1–100 blijft, zelfs tijdens vervangingen.
In werkelijkheid moet de lamp 24/7 werken. Onze reserveonderdelen zorgen ervoor dat de temperatuur van de lamp constant blijft. Hierdoor blijft de consistentie van het productieproces behouden, en komt er minder herwerk nodig te zijn.
De energieverbruik is afgestemd op het gewenste procesprofiel, zodat de kosten per wafer lager blijven. Omdat de vervangingsintervallen voorspelbaar zijn, kan de onderhoudswerkzaamheden op schema worden uitgevoerd, waardoor er minder onverwachte stilstanden zijn.
Er zijn een paar dingen waar je rekening mee moet houden: voordat je iets bestelt, moet je controleren of de spanning en configuratie van de lamp overeenkomen met die van je ASML-apparaat. Vervolgens moet je na installatie nogmaals controleren of alles correct werkt.
Zelfs met een constante thermische massa kan er nog sprake zijn van kleine temperatuursschommelingen op de eerste paar wafers na een vervanging. Het is dus belangrijk om eerst een proefrondborst te maken.
Houd ook altijd voldoende reserveonderdelen klaar in de schone ruimte. Als de productielijn stilvalt, wil je natuurlijk niet wachten op bezorging van vervangingen.