Polyimide bak infraroodlamp

Wed, 01 Jul 2026 06:58:55 +0800

Op de lithografieafdeling weet je dat zelfs een kleine afwijking in de temperatuur tijdens het bakproces kan leiden tot problemen met de controle van de lijndikte en de opbrengst. Thermische onevenwichtigheden over het hele waferoppervlak zijn zeer kostbaar. We hebben daarom een infraroodlamp ontworpen die zich aan deze beperkingen kan aanpassen, in plaats van ertegen te vechten.

Wat belangrijk is onder het oppervlak De lamp maakt gebruik van kortegolf-infraroodlicht voor een snelle en stabiele verhoging van de temperatuur. Het belangrijkste punt is een temperatuuruniformiteit van ±0,1°C in de bakzone. Dit wordt bereikt door middel van een gesloten regelsysteem en een kwartsgebaseerd ontwerp dat zorgt voor minimale thermische vertragingen. De lamp is geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100. De materialen en constructie zorgen er bovendien voor dat er zo min mogelijk deeltjes worden geproduceerd. Zowel zachte als harde bakprocedures kunnen nu opnieuw worden uitgevoerd, met een snel herstel van de ingestelde parameters, zodat de thermische stabiliteit behouden blijft.

Polyimide on Top-Rated Outdoor Patio Heaters

Polyimide bak infraroodlamp