Stop met het verwarmen van de muren van de kamer Als je ooit met standaard convectie- of omnidirectionale verwarming in een halfgeleiderkamer hebt...

Houd je wafer’s schoon terwijl je ze droogt (en houd je opbrengst hoog) Wanneer je MEMS-sensorwafer’s droogt in een klasse-100 schone ruimte, kun je...

IR-verwarming versus geforceerde lucht: Wat werkt echt voor wafers? Als je overweegt om over te stappen van hete lucht naar infrarood (IR) voor de...

Meer warmte naar de wafers sturen Wanneer je siliciumwafers verhit, moet je vooral voorkomen dat er energie verloren gaat. Het probleem met gewone...

Het veilig houden van IR-verwarmers in omgevingen met gevaarlijke chemische stoffen Laten we eerlijk zijn: het reinigen van wafers is een risicovolle...

Op de 200mm lijn is de droogstap na het reinigen waar een kleine temperatuurafwijking leidt tot echte opbrengstproblemen. Restvocht en ongelijke...