На производственной линии лампа может отказать в самый неподходящий момент. Это приводит к остановке процесса в тот момент, когда этого совсем не ждешь. В результате происходят сбои в процессе обработки фоторезиста, и пластины приходится выбрасывать ещё до того, как удастся выявить причину неисправности.
Мы разработали запасные части для ламп ASML, чтобы обеспечить стабильную работу оборудования – независимо от того, находится ли лампа при температуре 250°C во время процедуры обработки фоторезиста или при температуре 120°C после неё.
Всё зависит от эмиттеров. Галогеновые элементы короткой и средней длины волны, расположенные в кварцевых оболочках, обеспечивают быструю и стабильную реакцию с точным контролем спектра излучения. Это позволяет сохранять температурную однородность на поверхности пластин в пределах ±0,1°C, что предотвращает изменения параметров процесса под воздействием температуры.
Мощность лампы соответствует требованиям оборудования ASML; её можно без проблем подключить к существующим интерфейсам – нет необходимости переподключать провода. Также учтены особенности работы в чистой комнате: материалы с низким уровнем выделения газов и отсутствие частиц помогают поддерживать уровень частиц в пределах класса 1–100 во время замены ламп.
Нужно помнить, что оборудование работает круглосуточно, поэтому лампа должна быть надежной. Наши запасные части обеспечивают точное поддержание температуры во время процедуры обработки фоторезиста, что позволяет сохранять стабильность процесса и минимизировать необходимость повторной обработки пластин.
Потребление энергии регулируется в соответствии с заданными параметрами, что снижает затраты на обработку каждой пластины. Кроме того, благодаря предсказуемым интервалам замены ламп, техническое обслуживание происходит в установленные сроки, что снижает вероятность простоев оборудования.
Есть несколько моментов, которые нужно учитывать перед заказом: необходимо проверить напряжение лампы и её конфигурацию в соответствии с вашей моделью оборудования ASML, а также убедиться в правильности настройок процедуры обработки после установки лампы.
Даже при одинаковой теплоемкости может происходить небольшое изменение температуры на первых нескольких пластинах после замены лампы. Поэтому необходимо провести тестовую серию обработки.
Также важно иметь запасные части в чистой комнате. Когда производственная линия останавливается, не хочется ждать доставки новых ламп.