Üretim alanında, lambalar planlanan zamanda arızalanmaz. En beklenmedik anlarda üretimi durdurur ve bu durum fotoresistin işlenmesini olumsuz etkiler. Üst katmanlar bozulmaya başlar ve kökenindeki sorun tespit edilmeden önce waferler atılır.
ASML litografi lambaları için yedek parçalar ürettik; böylece ister 250°C’de yumuşak işlemler yapılıyor olsun, ister 120°C’de sert işlemler yapılsın, termal durum kontrol altında kalır.
Her şey, kuvars kapsüller içindeki kısa dalga ve orta dalga halojen elemanlarına bağlıdır. Bu elemanlar hızlı ve istikrarlı tepkiler sağlar ve spektral kontrolü sağlar. Böylece, pişirme plakasının üzerindeki waferlerin sıcaklığı ±0,1°C civarında sabit kalır ve böylece CD değerleri sıcaklık değişikliklerinden etkilenmez.
Lambaların çıkış gücü, ASML’nin stepper ve tarayıcılarının gereksinimlerine uygun şekilde ayarlanmıştır. Lambalar mevcut konektörlerle doğrudan bağlanabilir; yeniden kablo döşemesine gerek yoktur. Ayrıca, temiz oda koşulları da göz önünde bulundurulmuştur: Düşük gaz salınımı olan malzemeler ve hiçbir parçacık üretilmemesi sayesinde, değiştirme işlemleri sırasında parçacık sayısı sabit kalır.
Gerçek şu ki, üretim 24/7 devam eder ve lambaların da buna ayak uydurması gerekir. Yedek parçalar sayesinde fotoresistin işlenme sıcaklığı sabit kalır ve böylece işlem tekrarlanabilirliği artar. Enerji tüketimi ise hedeflenen seviyede tutulur; bu da her wafer için maliyetleri düşürür. Ayrıca, değiştirme aralıkları öngörülebilir olduğundan bakım planlanabilir ve plansız duruşlar azalır.
Sipariş vermeden önce, lambanın voltajını ve yapısal özelliklerini kendi ASML platformunuza uygun olup olmadığını kontrol edin. Kurulumdan sonra da işleme prosedürlerini teyit edin.
Termal dengeye rağmen, değiştirme işlemlerinden sonra ilk birkaç waferde hafif sıcaklık değişiklikleri olabilir. Hızlı bir test yapın.
Ayrıca, yedek parçaları temiz odada stoklarda tutun. Üretim durduğunda, teslimatı beklemek istemezsiniz.