На виробничій лінії лампа не може зламатися у невідповідний момент. Вона призводить до зупинки роботи лінії саме тоді, коли цього найменше очікуєш. Це призводить до проблем під час процедури обробки фотолітографічного матеріалу – пластини починають деформуватися, і їх доводиться викидати, перш ніж можна буде з’ясувати справжню причину проблеми.
Ми створили запасні частини для ламп ASML, щоб забезпечити стабільну роботу обладнання – незалежно від того, чи працює лампа при температурі 250°C під час процедури обробки, чи при температурі 120°C після процедури обробки.
Усе залежить від емітерів. Галогенні елементи короткої та середньої довжини хвилі, розташовані всередині кварцових корпусів, забезпечують швидку та стабільну реакцію, а також точний контроль спектру випромінювання. Це дозволяє забезпечити температурну однорідність на рівні ±0,1°C на всій поверхні платини, тож значення параметра CD не змінюється залежно від температури.
Рівень потужності випромінювання лампи підлаштовується під параметри обладнання ASML. Лампи можна без проблем підключити до існуючих інтерфейсів – без необхідності перепідключення проводів. Також передбачений захист від пилу: матеріали з низьким рівнем виділення газів та відсутність утворення частинок забезпечують стабільний рівень кількості частинок у класі 1–100 під час заміни ламп.
Реальність така: обладнання працює 24/7, тож лампа також повинна працювати без перебоїв. Наші запасні частини забезпечують точний контроль температури під час процедури обробки, що дозволяє зберігати стабільність процесу та зменшує кількість необхідних корекцій.
Потреба в енергії також підлаштовується під параметри процесу обробки, що дозволяє знизити витрати на одну пластину. Крім того, оскільки час між замінами ламп можна передбачити, технічне обслуговування відбувається в запланований час, що зменшує час простою обладнання.
Є кілька речей, які потрібно врахувати. Перед замовленням необхідно перевірити напругу та конфігурацію лампи відповідно до вашого обладнання ASML. Також необхідно переконатися у правильності параметрів процедури обробки після встановлення лампи.
Навіть при однаковій тепловій ємності може виникнути незначна зміна температури на перших кількох пластинах після заміни лампи. Тож необхідно протестувати обладнання перед початком роботи.
Також необхідно мати запасні лампи в чистому приміщенні. Це дозволить уникнути затримок у роботі, якщо обладнання зупиниться.