Нагрівання інфрачервоними променями проти нагріву за допомогою примусового потоку повітря: що насправді підходить для обробки вафер?
Якщо ви розглядаєте можливість заміни нагріву примусовим потоком повітря на нагрівання інфрачервоними променями для обробки вафер, то справа не стільки у пошуку „кращого“ джерела тепла, скільки у способі передачі цієї енергії на поверхню кремнію.
При використанні примусового потоку повітря потрібно чекати, поки повітря нагріється, а потім вже воно нагріває вафер. Це повільно та незручно.
Інфрачервоні промені працюють інакше – це радіація. Енергія безпосередньо потрапляє на поверхню та залишається там. Немає жодних посередників.
Час постійно йде
При використанні примусового потоку повітря доводиться боротися з тепловою інерцією. Потрібно чекати, поки вся камера нагріється, перш ніж вафер почне відчувати тепло. У виробничих умовах це просто марна трата часу. Це значно уповільнює процеси нагріву та охолодження.
Інфрачервоні лампи усувають цю проблему. Передача тепла відбувається майже миттєво.
Подумайте про свою продуктивність. Якщо процес стабілізації температури займає 10 хвилин, а при використанні інфрачервоних променів – лише 30 секунд… то це значно прискорює процес обробки вафер. Це велика перевага для вашого графіка роботи.
Правильне регулювання температури
Усі ми стикалися з проблемою нерівномірного нагрівання. Примусовий потік повітря часто залишає холодні зони, що є проблемою для досягнення однорідної температури.
За допомогою інфрачервоних променів можна точно контролювати процес нагрівання. Завдяки розділенню простору на зони можна коригувати розташування ламп для усунення нерівномірностей. Результат – однорідна температура по всій поверхні вафера. Жодних несподіванок.
Але є й недоліки (бо вони завжди є)
Інфрачервоні промені – це не чарівна паличка. Інтенсивність нагріву дуже висока.
Через швидку передачу тепла легко перевищити потрібну температуру, якщо параметри системи контролю не налаштовані правильно. Potрібні сенсори з високою швидкістю реакції, інакше вафери можуть бути пошкоджені.
Не забувайте також про систему охолодження. Потрібна ефективна система охолодження, щоб як тільки процес закінчується, тепло могло бути швидко виведено. Інакше можуть пошкодитися внутрішні елементи обладнання, а це вже проблема, з якою ніхто не хоче мати справу.