لیتھوگرافی کے عمل میں، آپ جانتے ہی ہیں کہ نرم بیکنگ کے دوران تھوڑا سا بھی فرق پڑنے سے فوٹوریزسٹ کی موٹائی متأثر ہو جاتی ہے، اور سخت بیکنگ کی صورت میں بھی یہی حال ہوتا ہے۔ اسی لئے ہم نے ٹوین-ٹیوب انفراریڈ ہیٹنگ لیمپ تیار کیا، تاکہ اس طرح کی پیچیدگیوں سے چھٹکارہ حاصل کیا جاسکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ٹوین-ٹیوب شارٹ-ویو انفراریڈ لیمپ تیزی سے گرمی پیدا کرتا ہے، اور اس کی وجہ سے ویفر کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتا ہے۔ کوارٹز کی ساخت اور ریفلیکٹر کی خصوصیات کی وجہ سے یہ لیمپ مستقل طور پر یکساں روشنی فراہم کرتا ہے۔ کلین روم کے مطابق استعمال ہونے والے مواد کی وجہ سے، استحکام کی سطح برقرار رہتی ہے۔ یہ لیمپ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک استعمال کیا جاسکتا ہے، اور اس کی روشنی کی شدت میں 5% سے بھی کم فرق پڑتا ہے۔ یہ سسٹم 24/7 کام کرنے کے لئے بنایا گیا ہے، بغیر کسی تعطل کے۔
حقیقی عمل میں اس کی اہمیت کیوں ہے؟
فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں، یہ لیمپ یکساں روشنی فراہم کرنے میں مدد کرتا ہے، جس سے کریٹیکل ڈائمنشنز کا کنٹرول بہتر رہتا ہے۔ اس کی وجہ سے ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کا کنٹرول بہتر رہتا ہے۔ یہ لیمپ تیزی سے گرمی پیدا کرتا ہے، جس سے بیکنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور اس طرح ویفر کی کوالٹی برقرار رہتی ہے۔ یہی استحکام پیکیجنگ کے عمل میں بھی مفید ہے، جہاں نمی اور خلا کا کنٹرول بہت اہم ہے۔ اس کے نتیجے میں خرابیاں کم ہوتی ہیں، اور کارکردگی ہر شفٹ میں برقرار رہتی ہے۔
کن چیزوں پر توجہ دینے کی ضرورت ہے؟
یہ لیمپ موجودہ اوون ماڈیولز میں استعمال کیا جاسکتا ہے، لیکن سبسٹریٹ کی سطح کے ساتھ اس کی درست 정렬 ضروری ہے۔ چھوٹا سا بھی فرق درجہ حرارت میں فرق کا سبب بن سکتا ہے۔ اپنے آلے کے لئے مناسب وولٹیج اور کنیکٹر کا استعمال کریں، اور ہر سائیکل کے اختتام پر مناسب کولنگ کا انتظام کریں، تاکہ کوارٹز کی ساخت برقرار رہے۔