Hãy ngừng việc làm nóng các bức tường trong buồng xử lý đi.
Nếu bạn từng sử dụng phương pháp làm nóng thông thường trong các buồng xử lý bán dẫn, chắc hẳn bạn đã hiểu rõ những khó khăn mà nó gây ra. Bạn cố gắng làm nóng wafer, nhưng kết quả lại là mọi thứ xung quanh wafer đều bị làm nóng, trừ chính wafer đó. Các bức tường bên trong buồng xử lý bị nóng đến mức nguy hiểm; các thiết bị cũng bị hư hại. Điều này không chỉ lãng phí năng lượng mà còn gây ra nhiều rắc rối cho mọi người liên quan.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này theo cách khác. Chúng tôi sử dụng các đèn hồng ngoại có khả năng chiếu nhiệt chính xác vào vị trí cần thiết – tức là trực tiếp lên wafer.
Cách thức hoạt động của chúng
Hãy tưởng tượng về một bộ gia nhiệt thông thường: nó phát ra nhiệt ở mọi hướng, 360 độ. Điều này khiến việc kiểm soát nhiệt độ trở nên khó khăn. Trong khi đó, các đèn hồng ngoại của chúng tôi sử dụng các tấm phản xạ và bước sóng cụ thể để chiếu nhiệt chính xác vào wafer. Nhờ vậy, nhiệt độ của wafer được duy trì ở mức mong muốn, còn các bộ phận khác trong máy thì vẫn giữ được nhiệt độ ổn định.
Những điểm cần lưu ý
Các đèn hồng ngoại này có công suất rất cao. Vì vậy, bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát hoạt động tốt. Nếu việc căn chỉnh không chính xác hoặc các tấm phản xạ bị bẩn, nhiệt lượng sẽ lan sang các bức tường bên trong buồng xử lý. Bí quyết là phải điều chỉnh độ dài sóng sao cho chính xác, để nhiệt lượng chỉ tập trung vào wafer mà thôi.
Ý nghĩa của việc này đối với công việc hàng ngày của bạn
Đầu tiên, các máy làm mát trong nhà máy của bạn sẽ không phải hoạt động quá vất vả nữa. Bạn cũng sẽ có được độ đồng đều về nhiệt độ trên wafer, giúp quy trình xử lý diễn ra thuận lợi hơn. Ngoài ra, việc bảo trì cũng trở nên dễ dàng hơn nhiều. Bạn sẽ không phải lo lắng về việc nhiệt lượng lan sang các bức tường bên trong buồng xử lý nữa.
Lưu ý về việc kết nối dây điện: Hãy đảm bảo rằng nguồn điện có thể chịu được áp lực cao từ các đèn hồng ngoại này. Chúng sẽ hoạt động ở công suất tối đa ngay lập tức, chứ không phải từ từ như các bộ gia nhiệt thông thường.
Đây là một sự cân bằng khó khăn. Bạn sẽ có được tốc độ xử lý nhanh hơn, nhưng bạn cần điều chỉnh các bộ điều khiển PID để đảm bảo rằng nhiệt độ không vượt quá mức mong muốn.