Trong quy trình sản xuất bằng phương pháp in ấn quang học, bạn cần biết rằng việc nung ở nhiệt độ thấp cũng có thể làm thay đổi độ dày lớp chất bảo vệ bề mặt wafer, và nếu nhiệt độ nung không đồng đều thì chất lượng sản phẩm sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng. Chúng tôi đã chế tạo loại đèn sưởi bằng bức xạ hồng ngoại hai ống để loại bỏ những yếu tố gây biến động nhiệt độ này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật
Đèn sưởi bằng bức xạ hồng ngoại hai ống có khả năng làm nóng nhanh, với khả năng kết nối trực tiếp giúp duy trì độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C trong suốt quá trình sản xuất. Vỏ bằng thạch anh và cấu trúc phản xạ giúp duy trì độ ổn định của bức xạ. Các vật liệu được sử dụng trong buồng sạch giúp ngăn chặn sự hình thành các hạt bụi trong quá trình sản xuất. Cường độ ánh sáng từ đèn vẫn ổn định trong hơn 5.000 giờ sử dụng, với độ lệch không quá 5%. Hệ thống này có thể hoạt động liên tục 24/7 mà không cần ngừng máy.
Tại sao nó lại hiệu quả trong các quy trình sản xuất thực tế
Trong quy trình xử lý chất bảo vệ bề mặt wafer, đèn này giúp duy trì độ ổn định của nhiệt độ trong quá trình nung, từ đó giúp kiểm soát chính xác các kích thước quan trọng của wafer. Phản ứng nhiệt của đèn rất nhanh, giúp rút ngắn thời gian nung mà vẫn đảm bảo độ ổn định của nhiệt độ. Điều này giúp tăng năng suất sản xuất mà không làm ảnh hưởng đến chất lượng wafer. Độ ổn định này cũng được áp dụng trong quá trình sấy khô và xử lý sau khi sản xuất, nơi mà việc kiểm soát độ ẩm và các khuyết tật trên bề mặt wafer rất quan trọng. Kết quả là ít xảy ra sai sót hơn, ít sản phẩm bị hỏng hơn, và chất lượng sản phẩm luôn ổn định qua từng ca sản xuất.
Những điều cần lưu ý
Đèn này có thể được lắp vào các module lò nung hiện có, nhưng việc căn chỉnh đèn sao cho nó nằm ngang với mặt wafer là điều cực kỳ quan trọng. Ngay cả một sự lệch nhỏ cũng có thể gây ra sự chênh lệch nhiệt độ đáng kể. Bạn cần chọn đúng điện áp và loại kết nối phù hợp với thiết bị của mình, đồng thời cần có hệ thống làm mát hiệu quả sau mỗi chu kỳ sản xuất để duy trì độ ổn định của thạch anh.