互连板加热红外灯

Sun, 31 May 2026 02:34:45 +0800

车间里，生产线从不停歇——24小时连续运行，节奏保持一致。载体进来，插入器就位，热处理步骤必须在02:00和14:00时段内达到相同的温度窗口。如果热曲线出现偏移，光刻胶烘烤也会随之偏移。关键尺寸（CD）漂移，废品率悄然上升，生产计划开始延误。

因此，我们开发了用于这种工况的插入器加热红外灯：一款面向连续半导体生产的工业级近红外（NIR）光源，具备必需的高运行时间、重复性和洁净室规范控制能力。

技术上真正关键的点

核心是通过石英外壳传递的近红外（NIR），专为插入器基板的快速局部加热调校。我们采用短波红外波段的热曲线，能高效耦合到所用材料，实现快速升温且无超调。