晶圆固化灯反射器

Role 你在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不是可选项——它是你的热预算。温度波动1°C就能改变关键尺寸（CD），疲劳的反射镜产生的颗粒能废掉一片晶圆。固化灯中的反射镜是热控和污染防护的第一道防线。 技术上关键的是一个数字：软烤和硬烤过程中晶圆上的温度均匀性需保持在±0.1°C。我们围绕这个目标设计反射镜...