晶圆加热的安全距离

如何让硅片获得更多热量 在加热硅片时，其实就是在与能量损耗作斗争。普通反射器的缺点在于其导热性较差，导致大量热量会散失到腔体壁上，从而无法被有效利用。 因此，我们使用镀金反射器。这样，那些能量就不会白白流失，而是会被重新导向硅片上。 为何选择黄金？ 这与其对红外光的反射能力有关。黄金的反射能力远优...