http://best-patio-ir.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Top-Rated Outdoor Patio Heaters Hugo zh Wed, 22 Jul 2026 02:23:09 +0800 http://best-patio-ir.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Wed, 22 Jul 2026 02:23:09 +0800 http://best-patio-ir.com/zh/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://best-patio-ir.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <h1 id="保持晶圆干燥且洁净从而提高产量">保持晶圆干燥且洁净，从而提高产量</h1> <p>在100级洁净室中干燥MEMS传感器晶圆时，任何意外情<a href="https://henruite.com">况都是不可</a>接受的。哪怕有一小块碎屑或来自加热源的微量气体，都可能导致产量大幅下降。这真是令人沮丧。<br> 因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。</p> <h2 id="为何石英如此重要">为何石英如此重要</h2> <p>事实上，普通的玻璃或廉价材料根本无法满足要求。当这些材料被置于高温下时，它们会释放出金属杂质。更糟糕的是，快速升温时，它们还可能破裂或产生粉尘。没人希望出现这种情况。<br> 我们选择高纯度石英，因为它能很好地承受热冲击。此外，由于它能够发出红外辐射，热量可以直接穿透晶圆表面的水分并立即将其蒸发掉。这样就不需要接触或摩擦晶圆，也就不会造成任何机械损伤。</p>