应用材料设备用红外灯

在光刻工厂中，光阻烘烤并非一个可暂停的步骤——而是一个至关重要的环节。如果温度出现波动，那么CD精度就会受到影响。一旦灯光熄灭，整个生产流程就会停止。我们为应用材料公司的设备设计了这种红外灯，以此来消除各种不确定性。 关键点在于： 它利用短波红外线来提供快速且可控的热量，从而确保在软烘烤和硬烘烤过...