৩০০ মিমি লাইনে, থার্মাল প্রোফাইল পরিবর্তিত হলে TSV স্ট্যাকিং নষ্ট হয়ে যায়। ওয়েফারের উপরিভাগে মাত্র এক ডিগ্রির পরিবর্তনই ভিয়াগুলো ভেঙে দিতে পারে; ফটোরেজিস্টগুলো নষ্ট হয়ে যায়, আর এক মাসের কাজ নষ্ট হয়ে যায়। হিটারটির উচিত নির্দিষ্ট তাপ সরবরাহ করা—শুধুমাত্র তাপ নয়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা TSV হিটারটিকে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এলিমেন্ট এবং কোয়ার্টজ-সিরামিক অ্যাসেম্বলির সাহায্যে তৈরি করেছি; যাতে কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হয়। ওয়েফারের সমগ্র ব্যাসে তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে; আর প্রতিবার সেটপয়েন্টটি ±০.২°C এর মধ্যে থাকে। এই সিস্টেমটি Class 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়; ২৪/৭ কাজ করতে পারে; আর ৫,০০০+ ঘণ্টা কাজ করার পরও তাপমাত্রার পরিবর্তন ৫% এর কম থাকে। তাপমাত্রা ১০°C/সেকেন্ড হারে বৃদ্ধি পায়; ফলে সাইকেল টাইম কমে যায়, আর থার্মাল বাজেটও সংরক্ষিত থাকে।
কেন TSV প্রক্রিয়ায় এটি ব্যবহৃত হয়?
TSV প্রক্রিয়ায় লিথোগ্রাফি, ইটচিং, লাইনারিং, সিডিং এবং ইলেকট্রোপ্লেটিং প্রক্রিয়া অন্তর্ভুক্ত রয়েছে; আর ফটোরেজিস্টগুলো এই প্রক্রিয়াগুলোর মধ্যে ব্যবহৃত হয়। প্রতিবারই একই ধরনের তাপ সরবরাহ করা প্রয়োজন—সলভেন্ট বের করার জন্য নরম তাপ, মাস্ককে স্থির রাখার জন্য কঠোর তাপ, আর ভিয়াগুলোকে সুরক্ষা দেওয়ার জন্য ধীর তাপমাত্রা। আমাদের হিটারটি প্রতিবারই ওয়েফারকে ঠিক সেই তাপমাত্রায় রাখে। এর ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ ভালো হয়, ত্রুটি কমে যায়, আর উৎপাদন বাড়ে। শক্তি ব্যবহারও কমে যায়—দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছানো যায়, আর তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণে থাকে।
কী প্রয়োজন?
প্ল্যাটফর্মটিতে ডেডিকেটেড পাওয়ার বাস এবং পরিষ্কার গ্যাস সরবরাহ প্রয়োজন। পুরানো ক্লাস্টার টুলগুলোতে এটি ব্যবহার করলে মেকানিক্যাল কিট এবং ফার্মওয়্যার ম্যাচিং প্রয়োজন। হিটার, চাক এবং শিল্ড সবকিছুর জন্য থার্মাল বাজেট নির্ধারণ করা প্রয়োজন—কারণ জিওমেট্রি পরিবর্তিত হলে কাপলিংও পরিবর্তিত হয়। কমিশনিং প্রক্রিয়া সম্পন্ন করে রেসিপিটি স্থির রাখা প্রয়োজন; তাহলে প্রক্রিয়াটি স্থিতিশীল থাকবে।