Ihre MemS-Sensorwafer sauber halten – und die Erträge hoch halten
Wenn Sie MemS-Sensorwafer in einem Reinraum der Klasse 100 trocknen, können Sie es sich nicht leisten, auf unvorhergesehene Probleme zu stoßen. Schon ein kleiner Stofffetzen oder etwas Gas, das von der Heizquelle ausgestoßen wird, kann dazu führen, dass die Qualität der Wafer stark abnimmt. Das ist frustrierend.
Deshalb verwenden wir IR-Lampen aus hochreinem synthetischem Quarz.
Warum Quarz wichtig ist
Standardglas oder billige Materialien halten solchen Bedingungen einfach nicht stand. Bei hohen Temperaturen können sie metallische Verunreinigungen freisetzen. Noch schlimmer: Sie können reißen oder „stauben“, wenn die Temperatur schnell geändert wird. Das möchte niemand.
Wir verwenden hochreinen Quarz, denn er kann thermischen Schocks gut standhalten. Zudem dringt das Infrarotlicht durch den Feuchtigkeitsschicht auf der Wafer und verdunstet diese sofort. Es kommt zu keiner Berührung oder Reibung – und es entstehen auch keine mechanischen Kratzer.
Unnötige Komponenten ausschließen
Um die für eine schnelle Trocknung benötigte Leistung zu erreichen, ist es wichtig, was sich innerhalb der Lampe befindet. Wir verwenden hochwertigen Wolfram sowie hocheffiziente Vakuumdichtungen, damit kein Gas entweichen kann. Dadurch entsteht eine konzentrierte Strahlung, die genau dann auf die Wafer trifft, wenn es nötig ist.
Außerdem sind wir sehr wählerisch, was die „Zusatzkomponenten“ angeht. In diesen Lampen finden Sie keine billigen Klebstoffe oder organische Beschichtungen. Warum? Weil diese Substanzen verbrennen und dadurch den Reinraum verschmutzen. Jedes einzelne Teil – vom Quarzkörper bis zu den Elektroden – wird sorgfältig ausgewählt, damit keine Giftstoffe entweichen. Punkt.
Die praktischen Herausforderungen
Diese Lampen sind zwar leistungsstark, doch dadurch werden sie heiß – nicht nur an der Waferoberfläche, sondern auch an den Enden der Lampe selbst.
Sie sollten daher Ihre Kühlvorrichtungen gründlich überprüfen. Wenn die Luftzufuhr zu schwach ist, kann sich Wärme in den Anschlüssen ansammeln und im Laufe der Zeit die Kabel beschädigen. Es handelt sich dabei um eine einfache, aber wichtige Lösung.
Wir haben die Abmessungen der Lampen so gewählt, dass sie perfekt in Ihre automatisierten Handhabungssysteme passen. Sie passen genauso wie herkömmliche IR-Lampen – doch es ist gerade die Reinheit des Quarzes, die dafür sorgt, dass Ihre Sensoren nicht versagen.