Hören Sie auf, zuzulassen, dass defekte Lampen Ihre Waferproduktion ruinieren!
In einer Hochleistungs-Semikondensator-Fabrik ist das Ausfallen einer einzigen Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – es entsteht auch Chaos. Wenn eine Lampe ausfällt, werden die Wafer mit Quarzkristallsplittern und Metalloxiden bedeckt. Solche sekundären Verunreinigungen können nicht nur ein einzelnes Teil zerstören – sie können ganze Chargen ruinieren. Das ist eine kostspielige und frustrierende Situation.
Wir haben beschlossen, dieses Problem zu lösen, indem wir die Konstruktion unserer Infrarotlampen überdenken.
Das Problem mit den Kabeln
Die meisten Standardkabel können die ständigen Auf- und Abkühlzyklen eines Halbleiterheizers nicht verkraften. Sie versagen einfach. Deshalb verwenden wir hochwertige Teflon-(PTFE)-Beschichtungen für die Leitungen. Warum? Weil Teflon keine Gase freisetzt und auch nicht schmilzt. Wenn die Isolierung schmilzt, tauchen organische Verunreinigungen auf den Wafern auf. Wenn die Isolierung beschädigt wird, entstehen Kurzschlüsse. Teflon hingegen bleibt an seinem Platz. Das ist genau das, was man von einem Kabel erwarten kann.
Schutz des Glases
Die meisten Ausfälle entstehen durch thermischen Schock oder durch schwache Dichtungen an der Stelle, wo das Glas auf die Elektroden trifft. Wir haben diese Dichtungen verstärkt, damit keine Luft eindringen kann. Dadurch wird verhindert, dass das Wolframfilament zu früh oxidiert – dadurch bleibt die Lampe länger funktionsfähig.
Aber seien wir realistisch: Nichts ist 100 % sicher. Deshalb fügen wir einen Schutzschirm hinzu. Er kann zwar etwas von der Infrarotstrahlung blockieren, aber er fängt die Trümmer auf, falls eine Lampe doch ausfällt. Man verliert zwar einen kleinen Prozentsatz der Wärme, aber man rettet seine Wafer. Das ist ein Trade-in, den ich jederzeit eingehen würde.
Achten Sie auf die Wärmestärke
Hochleistungs-Lampen sind ideal für schnelle Prozesse, bei denen hohe Temperaturen erforderlich sind. Doch so viel Wärme setzt dem Glas großen Druck aus. Ein Tipp: Überprüfen Sie unbedingt Ihren Kühlkreislauf. Wenn der Luftstrom zu gering ist, überhitzen die Enden der Lampe und gehen viel früher kaputt, als es eigentlich nötig wäre.
Das Beste daran: Es handelt sich um Ersatzteile, die direkt eingebaut werden können. Sie müssen Ihre Anlage nicht neu aufbauen. Überprüfen Sie einfach die Spannung und Leistung, verbinden Sie die Kabel, kalibrieren Sie Ihr Pyrometer – und schon können Sie weitermachen.