دیگر اجازه ندهید انرژی خود را هدر دهید!
وقتی که در حال گرم کردن ویفرهای سیلیکونی هستید، هر وات انرژی اهمیت زیادی دارد.
مشکل اینجاست که فرستندههای معمولی موجهای مادون قرمز، انرژی را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی نیمی از انرژی صرف گرم کردن بدنه دستگاه میشود، نه ویفرها. این یک هدررفت انرژی است.
ما این مشکل را با استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا و کاپهای سرامیکی با خلوص بالا، حل میکنیم. در واقع، ما مجبور میکنیم که تمام انرژی دقیقاً به جای مناسب خود برود؛ یعنی مستقیماً به سمت پایین.
چرا طلا؟
چون طلا بهترین ماده برای بازتاب موجهای مادون قرمز است.
ما از لایههای نازک طلا استفاده میکنیم؛ زیرا برخلاف آلومینیوم، طلا در دماهای بالا اکسیده نمیشود. پس نیازی نیست نگران اثرات منفی ناشی از استفاده طولانیمدت باشید.
نتیجه چیست؟ شما یک جریان حرارتی قویتر روی سطح ویفر خواهید داشت، اما هزینه برق شما همان خواهد ماند.
کاپهای سرامیکی: قهرمانان نامرئی
این کاپها پلی بین لوله کوارتز و سیمهای الکتریکی هستند. ما آنها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در برابر تغییرات دمایی شدید مقاومت کنند.
آنها از ایجاد جرقههای الکتریکی جلوگیری کرده و فرستنده را در جای خود نگه میدارند. اگر موقعیت فرستنده حتی چند میلیمتر تغییر کند، نقاط داغی روی ویفر ایجاد خواهد شد؛ و نقاط داغ معنای آن این است که قطعات خراب خواهند شد. هیچ کس این را نمیخواهد.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
این سیستمها بسیار قدرتمند هستند؛ شما زمان لازم برای گرم شدن دستگاه را به شدت کاهش خواهید داد، که برای افزایش بهرهوری عالی است.
اما یک مشکل وجود دارد؛ تمام این انرژی مرکز شده، فشار زیادی بر سیستم خنککننده وارد میکند. اگر سیستم خنککننده شما کافی نباشد، ممکن است بازتابندهها صدمه ببینند. لطفاً از مواد تمیزکننده خشن برای تمیز کردن بازتابندهها استفاده نکنید؛ زیرا این کار باعث خراب شدن بازتابندهها خواهد شد.
ما این سیستمها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین سیستمهای موجود در اتاقهای پاکسازی شوند. میتوانید آنها را مستقیماً به منبع تغذیه فعلی خود متصل کنید. فقط مطمئن شوید که کنترلکنندههای PID را برای پاسخگویی سریعتر تنظیم کنید؛ زیرا آنها سریعتر از حد معمول واکنش نشان خواهند داد.
یک نکته آخر: طلا نرم است؛ لطفاً برای حفظ کارایی دستگاه، از مواد تمیزکننده خشن برای تمیز کردن بازتابندهها استفاده نکنید.