جلوگیری از خرابی لامپهای مادون قرمز و از بین رفتن محصولات تولیدی
در کارخانههای تولید نیمههادی، خرابی لامپها یک فاجعه است. مسئله فقط مربوط به توقف فعالیتهای کارخانه نیست؛ بلکه میتواند منجر به از بین رفتن کامل محصولات تولیدی شود. تصور کنید یک لوله کوارتز در اثر فشار زیاد منفجر شود؛ تکههای شیشه و گرد و غبار مستقیماً روی ویفرها میافتند. در چنین شرایطی، محصولات تولیدی از بین میروند. این وضعیت بسیار ناخوشایند است و هزینههای زیادی را به همراه دارد؛ اما این مشکل کاملاً قابل جلوگیری است. به همین دلیل است که ما لامپهای مادون قرمز خود را به این شکل طراحی کردهایم.
چرا این لولهها منفجر میشوند؟
معمولاً دلیل این امر، تغییرات دمایی یا نقاط گرم موجود در لوله است. وقتی که دمای لوله بالا میرود، لوله کوارتز گسترش مییابد؛ اگر سیل دیواره لوله ضعیف باشد یا ولتاژ ناگهانی افزایش یابد، لوله منفجر میشود.
ما این مشکل را با استفاده از کوارتز با خلوص بالا و ضخامت دیواره مناسب، حل کردهایم. این روش به لوله اجازه میدهد تا تحت فشارهای داخلی مقاومت کند، بدون اینکه شیشه تحت فشار قرار بگیرد.
جلوگیری از ورود ذرات ناخواسته
برای اطمینان از اینکه هیچ ذرهای به ویفرها برخورد نکند، از یک سیستم ایمنی دومینهای استفاده میکنیم. ابتدا، انتهای لولهها را تقویت کردهایم؛ این کار مانع از تغییر موقعیت الکترودها میشود. سپس، یک لایه محافظ نیز اضافه کردهایم؛ این لایه مانند یک تور ایمنی عمل میکند. اگر رشتههای داخلی لوله خراب شوند، لایه بیرونی تمام ذرات ناخواسته را جذب میکند؛ در نتیجه ویفرها تمیز باقی میمانند.
یک نکته مهم: مراقب منبع تغذیه لامپ باشید؛ اگر ولتاژ بیش از ۵٪ تغییر کند، حتی بهترین لامپها نیز زودتر خراب خواهند شد.
تعادل بین ایمنی و کارایی
باید صادقانه بگوییم که این ویژگیهای ایمنی، مقدار کمی از نور مادون قرمز را جذب میکنند؛ شاید متوجه کاهش کمی در دمای لامپ شوید. اما این مشکل را میتوان با تنظیم زمان کار لامپ یا اضافه کردن چند لامپ دیگر، حل کرد. این تغییرات کوچک هستند، اما بسیار بهتر از این هستند که صبح با لامپهای خراب و محصولات تخریبشده روبرو شویم.