Arrêtez que vos lampes infrarouges ne ruinent pas votre rendement de production
Dans une usine de semi-conducteurs, la panne d’une lampe est un véritable cauchemar. Il ne s’agit pas seulement du temps d’arrêt causé par cette panne. Imaginez un tube en quartz qui éclate sous une charge importante : des morceaux de verre et de la poussière tombent directement sur vos wafer. En un instant, votre rendement est ruiné. C’est désastreux, c’est coûteux, et c’est entièrement évitable. C’est précisément pour cela que nous avons conçu nos lampes infrarouges de manière à éviter ce genre de problème.
Pourquoi ces tubes éclatent-ils ?
En général, cela est dû à un choc thermique ou à des points chauds localisés. Lorsque vous augmentez la densité thermique afin de raccourcir les temps de séchage, l’enveloppe en quartz se dilate. S’il y a une faible étanchéité ou une augmentation soudaine de la tension électrique, le tube éclate.
Pour y remédier, nous utilisons du quartz fusionné de haute pureté, avec une épaisseur de paroi très précise. Cela permet au tube de résister à la pression interne générée par le cycle halogène, sans que le verre ne subisse de stress excessif.
Éviter que des débris n’atteignent vos wafer
Pour garantir que rien ne touche vos wafer, nous utilisons un système de sécurité à deux niveaux. Tout d’abord, nous renforçons les extrémités des tubes. Cela empêche les électrodes de bouger, ce qui est généralement la cause des arcs électriques qui provoquent l’éclatement du tube. Ensuite, nous ajoutons un revêtement protecteur (ou un système de sécurité, selon les besoins). Pensez-y comme à un filet de sécurité : si le filament intérieur tombe en panne, la couche extérieure retient tous les débris. Vos wafer restent donc propres.
Un petit conseil : surveillez bien votre alimentation en énergie. Si la tension varie de plus de 5 %, même la meilleure des lampes finira par tomber en panne prématurément.
Les compromis à accepter
Il faut être honnête : ces dispositifs de sécurité absorbent une petite partie de la lumière infrarouge. Vous pourriez donc remarquer une légère diminution de la chaleur produite par rapport à un tube non protégé. Vous pouvez facilement corriger cela en ajustant le temps d’exposition des wafer ou en ajoutant quelques lampes supplémentaires dans la chambre. C’est un petit ajustement, mais c’est bien mieux que de se réveiller avec une lampe cassée et des wafer endommagés.