בשטח הייצור, עיבוד של שבבי זכוכית אינו מאפשר שום סטייה תרמית. אם החימום אינו מדויק לחלוטין – אפילו 0.5°C – עלולה להיווצר סטייה בעובי של החומרים המשמשים להדפסה. אם החימום אינו אחיד, עלולה להיווצר בעיה בתהליך ההדפסה. כדי לשלוט בפרמטרים התרמיים, מערכות של נורות תת-אדומות הן הפתרון היחיד.
מה חשוב באמת? יצרנו נורות תת-אדומות לגלים קצרים, שמיועדות במיוחד לעיבוד שבבי זכוכית. הן מותאמות כך שהפלט הספקטרלי שלהן יתאים לתהליך ספיגה תרמית נמוכה, והן מאפשרות שליטה מהירה בטמפרטורה. באזור החימום, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזרתיות של התהליך מובטחת כך ש-Cp/Cpk יישארו יציבים במהלך השימוש המתמשך. המערכת מתאימה לשימוש בחדרי ייצור מסוג Class 1–100, כאשר אין יצירה של חלקיקים זרים, כפי שניתן לוודא באמצעות מעקב אחר החלקיקים במקום. הפלט של הנורות נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, כאשר השינוי בעוצמת הפלט נמוך מ-5%.
למה זה חשוב בתהליך הליתוגרפיה? בתהליך הליתוגרפיה, זה אומר חימום אחיד של שבבי הזכוכית, שליטה טובה יותר בגודל הפרטים המודפסים, וצפיפות פגמים נמוכה יותר. כך ניתן להגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות, לחסוך אנרגיה, ולהפחית את מספר השבבים הפגומים. המערכת מתאימה לפורמטים סטנדרטיים של שבבים, וניתן לשלב אותה במערכות הקיימות, כך שהתהליך יישאר יציב והביצועים התרמיים ישתפרו.
על מה צריך לשים לב בעת ההתקנה? ההתקנה דורשת תאמה אופטית מדויקת ומערכת ניהול תרמי יעילה. אם הקירור אינו מתאים או שגאומטרית המראה אינה נכונה, האחידות של הטמפרטורה תיפגע. פלט הנורות רגיש ליציבות החשמל, לכן חשוב להשתמש במקור אנרגיה יציב. ייתכן שיידרש זמן נוסף לקליטה, אך לאחר מכן המערכת תהיה יציבה וניתן יהיה לשמור על רמת ביצועים גבוהה, מה שיפחית את זמן העצירה של המפעל ויאפשר להימנע מתיקונים במהלך הייצור.