फैब्रिकेशन फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया कोई रुकावट नहीं है… बल्कि यही तो आगे बढ़ने हेतु आवश्यक चरण है। यदि तापमान में कोई बदलाव हो जाए, तो सीडी नियंत्रण प्रणाली काम करना बंद कर देती है… लैंप भी बंद हो जाता है, और प्रक्रिया रुक जाती है। हमने एप्लाइड मटेरियल्स के उपकरणों हेतु ऐसा इन्फ्रारेड लैंप बनाया है, ताकि ऐसी अनिश्चितताओं से छुटकारा पाया जा सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
यह लैंप शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करके तेज़ एवं नियंत्रित गर्मी प्रदान करता है… इससे सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक दोनों प्रक्रियाओं में तापमान नियंत्रित रहता है। वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है… ±0.1°C के भीतर ही… इससे हर बार एक ही प्रकार का परिणाम प्राप्त होता है। यह लैंप क्लीनरूम क्लास 1–100 में ही काम करता है… इसकी डिज़ाइन ऐसी है कि हर बार बेकिंग प्रक्रिया में कोई बदलाव न हो। क्वार्ट्ज आवरण एवं इंजीनियर्ड फिलामेंट हजारों घंटों तक स्थिर रहते हैं… इसका इंटरफेस उपकरण के कनेक्टर एवं माउंटिंग सिस्टम से मेल खाता है।
वास्तविक लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में इसकी उपयोगिता
24/7 लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में, अप्रत्याशित रुकावटें बहुत ही महंगी पड़ सकती हैं… क्योंकि ऐसी स्थिति में वेफर वापस नहीं मिल पाते। यह लैंप निरंतर कार्य करने हेतु ही डिज़ाइन किया गया है… इसके कारण कोई अप्रत्याशित खराबी नहीं होती। इसकी मरम्मत आवधि 5,000 घंटों से भी अधिक है… इससे रखरखाव संबंधी समस्याएँ कम हो जाती हैं… ऊर्जा की खपत भी कम रहती है… क्योंकि प्रतिक्रिया तेज़ होती है, एवं नुकसान भी कम होता है।
कुछ टिप्स
इसे उपकरण के वोल्टेज एवं अलाइनमेंट सीमाओं के भीतर ही लगाएं… थोड़ा सा भी विचलन तापमान-संबंधी समस्याओं का कारण बन सकता है। लैंप लगाने के बाद थोड़ा समय लगेगा… ताकि तापमान स्थिर हो जाए… पहली बार लैंप लगाने के बाद जरूर टेस्ट करें… ताकि प्रक्रिया सही तरीके से काम करे। यह लैंप उपकरण के साथ मेल खाता है… इसलिए हर दिन एक ही तरह का परिणाम प्राप्त होता है।