अपने वेफरों को साफ रखें… ताकि उत्पादन दर ऊँची रहे।
जब आप क्लास 100 के स्वच्छ कमरों में MEMS सेंसर वेफरों को सुखाते हैं, तो आपको किसी भी तरह की समस्या का सामना नहीं करना चाहिए। थोड़ा सा भी मैटेरियल या गर्मी स्रोत से निकलने वाली गैसें आपके उत्पादन पर बुरा प्रभाव डाल सकती हैं। यह बहुत ही निराशाजनक है।
इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले कृत्रिम क्वार्ट्ज IR लैंपों का ही उपयोग करते हैं।
क्यों क्वार्ट्ज महत्वपूर्ण है?
दरअसल, सामान्य काँच या सस्ती सामग्रियाँ ऐसी परिस्थितियों में काम नहीं कर पातीं। जब इन्हें उच्च तापमान पर रखा जाता है, तो इनसे धात्विक अशुद्धियाँ निकल सकती हैं। और जब गर्मी को तेज़ी से बदला जाता है, तो ये टूट सकती हैं। कोई भी ऐसी स्थिति नहीं चाहता।
हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं, क्योंकि यह ऊष्मा-आघात को बखूबी सह सकता है। इसके अलावा, चूँकि यह IR विकिरण है, इसलिए गर्मी वेफर पर मौजूद नमी को तुरंत ही सुखा देती है। कोई स्पर्श नहीं, कोई घर्षण नहीं… और बिल्कुल कोई यांत्रिक खरोंच भी नहीं।
अनावश्यक चीजों को दूर करना
तेज़ गति से सुखाने हेतु, लैंप के अंदर की सामग्री बहुत ही महत्वपूर्ण है। हम उच्च-गुणवत्ता वाले टंगस्टन एवं उच्च-वैक्यूम सीलों का ही उपयोग करते हैं, ताकि कोई गैस बाहर न निकले। ऐसे में लैंप से निकलने वाला IR विकिरण ठीक उसी समय वेफर पर पहुँचता है, जब आवश्यक होता है।
हम “अतिरिक्त” चीजों के मामले में बहुत ही सावधान रहते हैं। इन लैंपों में कोई सस्ते चिपकने वाले पदार्थ या कार्बनिक कोटिंग नहीं होती। क्यों? क्योंकि ऐसी चीजें जल जाती हैं… और जब वे जलती हैं, तो वे आपके स्वच्छ कमरे को दूषित कर देती हैं। क्वार्ट्ज से लेकर इलेक्ट्रोड तक… हर एक भाग कا चयन इसलिए ही किया गया है, ताकि उससे कोई गैस न निकले।
वास्तविक दुविधाएँ
ये लैंप बहुत ही शक्तिशाली हैं… इसलिए ये गर्म हो जाते हैं। न केवल वेफर पर, बल्कि लैंप के छोरों पर भी।
आपको अपने कूलिंग सिस्टम की अच्छी तरह जाँच करनी होगी। यदि हवा का प्रवाह कम है, तो गर्मी सॉकेटों पर जमा हो जाएगी… और समय के साथ आपके वायरिंग को नुकसान पहुँचेगा। यह एक सरल समस्या है… लेकिन बहुत ही महत्वपूर्ण है।
हमने इन लैंपों का आकार ऐसा ही रखा है, ताकि वे आपके स्वचालित हैंडलिंग सिस्टम में आसानी से फिट हो जाएँ। ये सामान्य IR लैंपों की तरह ही हैं… लेकिन उच्च शुद्धता ही आपके सेंसरों को विफल होने से बचाती है।