अपने चेंबर की दीवारों को गर्म करना बंद करें।
यदि आपने कभी सेमीकंडक्टर चेंबर में स्टैंडर्ड कन्वेक्शनल/ओमनिडायरेक्शनल हीटिंग सिस्टमों का उपयोग किया है, तो आपको इसकी परेशानी का अंदाजा होगा। आप वेफर को गर्म करने की कोशिश करते हैं, लेकिन वास्तव में वेफर के अलावा सब कुछ ही गर्म हो जाता है।
चेंबर की आंतरिक दीवारें बहुत गर्म हो जाती हैं; उपकरणों को नुकसान पहुँचता है, और ऑपरेटरों को भी बहुत परेशानी होती है। यह ऊर्जा का अपव्यय है, एवं सभी लोगों के लिए यह एक बड़ी समस्या है।
हम इस समस्या को अलग तरीके से हल करते हैं। हम डायरेक्शनल इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… ऐसे लैंप जो ऊर्जा को सीधे वेफर पर ही भेजते हैं।
यह कैसे काम करता है?
रेजिस्टिव हीटरों के बारे में सोचें… वे ऊर्जा को 360 डिग्री में हर दिशा में फैलाते हैं… यह बहुत ही जटिल है।
हमारे इन्फ्रारेड लैंपों में रिफ्लेक्टर एवं विशिष्ट तरंगदैर्घ्य होता है… इससे ऊर्जा सीधे वेफर पर ही जाती है। ऐसे में आसपास के उपकरणों पर अतिरिक्त ऊर्जा नहीं पड़ती… वेफर अपने लक्षित तापमान तक पहुँच जाता है, एवं मशीन का बाकी हिस्सा ठंडा ही रहता है।
इसके नुकसान एवं उनसे निपटने के तरीके
ये उच्च-वॉटेज वाले लैंप बहुत ही तेज़ गति से काम करते हैं… लेकिन इसका मतलब यह है कि आपको कूलिंग सिस्टम पर ध्यान देना ही होगा। यदि आपका अलाइनमेंट गलत है, या रिफ्लेक्टर गंदा है, तो ऊर्जा फिर से दीवारों में जाने लगेगी… इसलिए आपको फोकल लंबाई को ठीक से समायोजित करना ही होगा… ताकि ऊर्जा सीधे वेफर पर ही जाए।
इसका आपके रोज़मर्रा के कामों पर क्या प्रभाव पड़ेगा?
सबसे पहले, आपके चेंबर में उपयोग होने वाले कूलरों पर दबाव कम हो जाएगा… वेफर पर तापमान भी अधिक स्थिर रहेगा… इससे प्रक्रिया में एकरूपता बढ़ जाएगी… इसके अलावा, रखरखाव भी आसान हो जाएगा… आपको अंदर जाकर कुछ ठीक करने की आवश्यकता ही नहीं पड़ेगी।
वायरिंग संबंधी सलाह:
ध्यान रखें कि आपका पावर सप्लाई सिस्टम इन लैंपों के तीव्र वोल्टेज को सह सके… ये लैंप तुरंत ही पूर्ण ऊर्जा उत्पन्न करने लगते हैं… ये पुराने सिरामिक तत्वों की तरह धीरे-धीरे गर्म नहीं होते।
यह एक संतुलन की बात है… आपको तेज़ गति से काम करना ही होगा… लेकिन आपको PID कंट्रोलरों को भी ठीक से समायोजित करना होगा… ताकि आपका लक्ष्य हासिल हो सके।