Mengurangi Emisi Karbon dalam Proses Pembuatan Chip dengan Pemanasan Inframerah
Proses pembuatan semikonduktor memang membutuhkan panas, tetapi cara yang digunakan saat ini sebenarnya sangat boros. Sebagian besar pabrik menggunakan oven konveksi, yang berarti harus menghangatkan seluruh ruangan hanya untuk menghangatkan wafer yang ukurannya sangat kecil. Ini sama saja dengan menghangatkan seluruh rumah hanya untuk menghangatkan satu potong pizza. Hal ini menyebabkan pemborosan energi yang besar dan meningkatkan jejak karbon pabrik tersebut.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik: pemanasan inframerah. Alih-alih menghangatkan udara di dalam ruangan, kita langsung memanaskan substratnya saja.
Menghemat Energi (dan Melindungi Planet)
Lampu inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk mentransfer energi. Karena tidak perlu menghangatkan ribuan kubik kaki udara di dalam ruangan, maka energi yang digunakan pun jauh lebih sedikit per wafer. Di pabrik yang ramah lingkungan, hal ini merupakan keuntungan besar. Penggunaan energi berkurang, sehingga emisi CO2 juga berkurang. Ini merupakan cara yang lebih sederhana dan efisien untuk proses pemanasan.
Mempertahankan Kebersihan Ruangan
Ruangan bersih sangat penting. Sedikit saja debu bisa menyebabkan masalah. Itulah mengapa kami menggunakan elemen pemanas yang dilapisi kuarsa. Elemen pemanas ini tidak mengeluarkan gas atau partikel apa pun, sehingga lingkungan tetap bersih.
Selain itu, lampu inframerah memiliki daya yang tinggi dalam paket yang kecil. Peralatan yang digunakan pun membutuhkan ruang yang lebih sedikit, dan suhu target dapat dicapai lebih cepat. Dengan demikian, seluruh proses menjadi lebih cepat.
Bagian yang Sulit
Namun, hal ini bukanlah sesuatu yang mudah. Panas inframerah yang intensif membuat proses pemanasan berlangsung terlalu cepat. Jika tidak hati-hati, bisa tercipta “lingkaran panas” yang berbahaya. Jika wafernya tipis, permukaannya bisa terlalu panas sebelum bagian intinya sempat terpanaskan.
Kita perlu memperhatikan jarak antara lampu dan substrat, serta durasi pemanasan. Kalibrasi yang tepat sangat penting agar substrat tidak rusak.
Menerapkannya di Pabrik Ramah Lingkungan
Mengganti lampu saja belum cukup. Diperlukan sistem kontrol yang mampu mendeteksi data dari sensor secara real-time. Dengan begitu, sistem tidak akan melebihi suhu target dan menyebabkan pemborosan energi.
Yang terbaik adalah ketika sistem ini terhubung ke jaringan listrik pintar, kita dapat melacak berapa banyak energi yang dihemat untuk setiap batch produksi. Saat auditor datang untuk memeriksa tingkat netralitas karbon pabrik, kita pun memiliki data yang akurat untuk ditunjukkan kepada mereka.