Mengapa Pabrik Semikonduktor Beralih dari Oven Konvensional ke Metode Pengeringan dengan Sinar Infra Merah
Sejujurnya, oven konvensional tersebut sebenarnya hanyalah kotak besar yang membutuhkan banyak energi untuk menghasilkan udara panas. Prosesnya lambat, dan ukurannya pun besar. Di dunia yang semakin mengutamakan “energi hijau” sebagai standar, oven jenis ini sudah tidak efektif lagi.
Itulah sebabnya semua pabrik beralih ke metode pengeringan menggunakan sinar infra merah. Perbedaannya adalah: alih-alih memanaskan seluruh ruangan hanya untuk memanaskan wafer, sinar infra merah langsung menyentuh permukaan wafer tersebut. Prosesnya lebih cepat dan efisien. Anda tidak perlu membuang-buang energi untuk memanaskan ruangan kosong di dalam oven.
Penjelasan sederhana tentang prinsip fisiknya
Anggap saja, udara sebenarnya sangat buruk dalam mentransfer panas. Sebaliknya, lampu inframerah mengeluarkan gelombang elektromagnetik yang langsung menembus lapisan fotoresist atau bahan perekat pada wafer. Prosesnya sangat cepat. Karena transfer energinya sangat efisien, waktu yang diperlukan untuk memanaskan wafer pun berkurang drastis. Selain itu, karena tidak digunakan bahan kimia berbahaya untuk menghasilkan panas, Anda tidak perlu khawatir akan adanya kontaminan atau zat berbahaya di sekitar wafer. Prosesnya jadi lebih bersih dan aman.
Bagaimana cara menggunakannya dengan benar
Anda tidak bisa sembarangan menggunakan lampu pemanas. Untuk mendapatkan hasil yang presisi, kita menggunakan emitor gelombang pendek atau sedang. Emitor ini mampu menghasilkan panas yang tinggi dalam ruang yang kecil. Yang terbaik adalah jika Anda bisa mengontrol suhu di berbagai bagian wafer, sehingga tidak ada titik-titik panas yang terbentuk.
Tapi ada satu masalah: lampu-lampu ini sangat panas. Jika sistem pendinginannya tidak memadai, elektronik di sekitarnya akan rusak. Jika aliran udara lemah, bodi lampu akan overheat, dan filamen lampu akan cepat rusak. Anda harus memastikan sistem pendinginan berfungsi dengan baik, agar tidak menimbulkan masalah baru.
Apa artinya ini bagi para pekerja di pabrik
Keuntungan terbesar bagi para pekerja di pabrik adalah kemampuan “menyalakan mesin secara instan”. Lupakan saja proses pemanasan yang memakan waktu lama menggunakan oven konvensional. Anda hanya perlu menghidupkan saklar, dan prosesnya langsung dimulai. Ini sangat membantu saat pergantian shift atau ketika hanya perlu memproses beberapa batch wafer saja.
Bagi para insinyur, hal ini berarti peningkatan kapasitas produksi dan ruang kerja yang lebih baik di ruang bersih. Anda dapat mencapai target lingkungan yang ditetapkan tanpa merusak kualitas wafer. Ini merupakan situasi yang saling menguntungkan.