MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

ウェーハを清潔に保ち、歩留まりを高く維持するために クラス100のクリーンルームでMEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際には、何が起こっても困ります。わずかな汚れや、加熱源からのガス放出でも、歩留まりは急激に低下してしまいます。本当に厄介です。 だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプ...