ウェーハを清潔に保ち、歩留まりを高く維持するために
クラス100のクリーンルームでMEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際には、何が起こっても困ります。わずかな汚れや、加熱源からのガス放出でも、歩留まりは急激に低下してしまいます。本当に厄介です。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用します。
石英が重要な理由
実は、普通のガラスや安価な素材では不十分です。高温にさらされると、金属不純物が溶出してしまいます。さらに悪いことに、急激な温度変化によって割れたり、ほこりが発生したりすることもあります。そんなことは避けたいものです。
高純度の石英を使用する理由は、熱ショックに強いからです。また、IR放射線を利用するため、熱がウェーハ上の水分を瞬時に蒸発させます。触れる必要もなく、摩擦もなく、機械的な傷もつきません。
不要な要素を排除する
迅速な乾燥のためには、ランプの内部構造が非常に重要です。高品質のタングステンと高真空密封技術を用いて、ガスが漏れ出ないようにしています。そうすることで、短波長のIRが正確にウェーハに当たります。
また、付加的な要素にもこだわっています。安価な接着剤や有機コーティングは一切使っていません。なぜかというと、それらは燃え尽きてしまい、クリーンルームを汚染してしまうからです。石英のカバーや電極に至るまで、すべての部品はガスを放出しないものを厳選しています。
実際のトレードオフ
このランプは性能が高い反面、熱を発生させます。ウェーハだけでなく、ランプの端部も同様です。
冷却システムをしっかりチェックしてください。空気の流れが弱いと、ソケット部分に熱が溜まり、時間が経つにつれて配線が損傷してしまいます。これは簡単に解決できる問題ですが、非常に重要です。
また、サイズを小さくしておくことで、自動化された処理装置に簡単に取り付けることができます。標準的なIRアレイと同じように使えますが、純度こそがセンサーが不良品にならないための鍵となります。