제조 현장에서는 열 변동이 단순한 이론적 문제가 아닙니다. 이는 실제로 제품의 품질에 영향을 미치는 요소입니다. 반도정도의 온도 변동만으로도 치명적인 결함이 발생할 수 있으며, 용매의 잔류량도 기준을 초과할 수 있습니다. 그래서 저희는 제조 현장에서는 대용량 적외선 등기구를 사용합니다. 이러한 등기구는 온도를 정확하게 제어해주므로, 공정이 히터의 성능에 의존하지 않고 안정적으로 진행됩니다.
기술적으로 중요한 것은 바로 제어 능력입니다. 저희는 석영 소재로 만들어진 등기구를 사용하는데, 이 등기구는 단파 및 중파 성능이 우수하여 포토레지스트와 언더필이 에너지를 흡수하는 방식에 맞게 조정됩니다. 이를 통해 웨이퍼의 온도는 ±0.1°C 이내로 일정하게 유지되며, 교대 근무 시에도 일관된 성능을 보입니다. 또한 입자 생성이 전혀 없어 클린룸의 입자 수가 Class 1–100 수준으로 안정적으로 유지됩니다. 반응 속도도 빨라 고속 처리가 가능하며, 수천 번의 사이클을 거쳐도 출력이 안정적으로 유지됩니다.
실제로 이 방식이 왜 효과적인가 하면, 열이 정밀하고 깨끗하게 조절되어야 하는 곳에서 사용될 수 있기 때문입니다. 예를 들어, 웨이퍼 세척 후 건조, 리소그래피 과정에서의 포토레지스트 처리, 패키징 과정에서의 캡슐화 및 언더필 경화, 그리고 웨이퍼 세척 후 최종 건조 등에 사용됩니다. 이렇게 하면 치명적인 결함이 줄어들고, 온도 변동이 원천적으로 억제되므로 재작업도 필요 없습니다. 또한 효율성도 향상됩니다. 적외선을 사용하면 처리 시간이 단축되고, 등기구의 수명도 길어져 5,000시간 이상 사용해도 성능이 거의 저하되지 않습니다.
설치는 간단하지만, 정렬과 설치의 반복성이 중요합니다. 반사체의 형태를 작업 구역에 맞게 조정하고, 장비와의 전압 및 커넥터 호환성을 확인해야 합니다. 또한 인접한 폴리머가 손상되지 않도록 적절한 열 차단 조치를 취해야 합니다. SPC 프로세스에 맞게 주기적으로 교정을 수행해야 하며, 안정적인 적외선 소스라 할지라도 제품별로 온도가 일정하도록 정기적인 검증이 필요합니다.