IR 램프가 웨이퍼의 품질을 해치는 것을 막으세요.
반도체 공장에서 램프가 고장나는 것은 정말 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단 문제만이 아닙니다.
무거운 부하로 인해 석영관이 파열된다고 상상해보세요. 유리 조각과 먼지들이 그대로 웨이퍼 위로 떨어집니다. 그러면 웨이퍼의 품질은 완전히 망가집니다. 이는 엄청난 손실이며, 또한 완전히 예방할 수 있는 문제입니다. 바로 이런 이유로 우리는 특별한 방식으로 적외선 램프를 설계했습니다.
왜 석영관이 파열되는 걸까요?
보통은 열충격이나 특정 부분의 과열 때문입니다. 건조 과정에서 열 밀도를 높이려고 하면 석영관이 팽창합니다. 만약 밀폐성이 약하거나 전압이 갑자기 상승한다면 석영관이 파열됩니다.
우리는 고순도의 석영을 사용하여 이 문제를 해결합니다. 이를 통해 할로겐 순환 과정에서 발생하는 내부 압력을 견딜 수 있습니다.
불순물을 막아내는 방법
웨이퍼가 손상되지 않도록 하기 위해 우리는 두 가지 안전 장치를 사용합니다.
첫째, 램프의 양쪽 끝부분을 강화했습니다. 이를 통해 전극이 움직이는 것을 막을 수 있습니다. 전극이 움직이면 아크가 발생하여 램프가 파열됩니다.
둘째, 보호용 커버를 추가했습니다. 이는 마치 안전망과 같은 역할을 합니다. 내부 필라멘트가 고장 나더라도 외부 층이 모든 불순물을 막아줍니다. 그래서 웨이퍼는 깨끗하게 유지됩니다.
한 가지 팁: 전원 공급 장치를 주의 깊게 관리하세요. 전압이 5% 이상 변동하면, 아무리 좋은 램프라도 너무 일찍 고장날 수 있습니다.
타협점
솔직히 말해서, 이러한 안전 장치들은 적외선의 일부를 흡수합니다. 따라서 보호 장치가 없는 경우와 비교했을 때 열량이 약간 줄어들 수 있습니다.
이 문제는 머물러 있는 시간을 조절하거나 챔버에 램프를 더 추가함으로써 쉽게 해결할 수 있습니다. 작은 조정이지만, 램프가 파열되어 웨이퍼가 망가지는 것보다는 훨씬 낫습니다.