웨이퍼를 깨끗하게 건조시켜 생산성을 높이는 방법
클래스 100급 청정실에서 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 어떠한 문제도 발생해서는 안 됩니다. 아주 작은 불순물이라도 있거나, 가열 과정에서 가스가 배출된다면 생산성이 급격히 떨어집니다. 이는 매우 당황스러운 상황입니다.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.
왜 석영이 중요한가?
일반적인 유리나 저렴한 재료들은 고온에 견딜 수 없습니다. 고온에서는 금속 불순물들이 유출될 수 있으며, 빠르게 온도 변화가 일어나면 균열이 생기거나 먼지가 발생할 수도 있습니다. 이런 것은 결코 원치 않습니다.
우리가 고순도 석영을 사용하는 이유는, 석영이 열충격에 매우 잘 견디기 때문입니다. 게다가 IR 방사선을 이용하기 때문에, 열이 웨이퍼의 습기까지 침투하여 즉시 증발시킵니다. 따라서 웨이퍼에는 아무런 손상도 가해지지 않습니다.
불필요한 요소들을 제거하기
빠른 건조를 위해서는 램프 내부의 구성 요소가 매우 중요합니다. 우리는 고품질의 텅스텐과 고진공 밀폐 구조를 사용하여 가스가 새어 나오지 않도록 합니다. 그 결과, 웨이퍼에 정확한 시점에 짧은 파장의 IR 에너지가 전달됩니다.
또한, 우리는 “추가적인 요소들”에도 매우 신경을 씁니다. 이 램프에는 저렴한 접착제나 유기 코팅제가 사용되지 않습니다. 왜냐하면 그런 것들은 타버리고, 그 과정에서 청정실이 오염될 수 있기 때문입니다. 석영 커버부터 전극에 이르기까지 모든 부품은 가스가 배출되지 않는 것으로만 선택됩니다.
실제로 고려해야 할 사항들
이 램프들은 강력한 성능을 가지고 있기 때문에 열이 많이 발생합니다. 웨이퍼뿐만 아니라 램프의 끝부분에서도 열이 발생합니다.
따라서 냉각 시스템을 반드시 확인해야 합니다. 공기 흐름이 약하면 열이 축적되어 점차 배선에 손상을 줄 수 있습니다. 이는 간단한 문제이지만 매우 중요합니다.
우리는 램프의 크기를 최소화하여 자동화된 처리 장비에 쉽게 장착될 수 있도록 했습니다. 일반적인 IR 램프와 비슷한 형태이지만, 고순도라는 점이 센서가 검사에서 실패하지 않도록 해줍니다.