Mengurangkan Penggunaan Karbon Dalam Pembuatan Chip Melalui Pemanasan Inframerah
Pembuatan semikonduktor memerlukan penggunaan haba yang banyak. Namun, cara yang digunakan sekarang sebenarnya sangat membazir tenaga. Kebanyakan kilang menggunakan ketuhar konvektif, yang bermaksud udara di dalam bilik tersebut dipanaskan untuk memanaskan wafer ke suhu yang diperlukan. Ini sama seperti memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan sekeping pizza sahaja. Cara ini menyebabkan pembaziran tenaga yang besar, dan seterusnya meningkatkan jejak karbon kilang tersebut.
Kami telah menemukan cara yang lebih baik: pemanasan inframerah. Daripada memanaskan udara, kita memanaskan permukaan wafer secara langsung.
Mengurangkan Penggunaan Tenaga (dan Melindungi Alam Sekitar)
Lampu inframerah menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memindahkan tenaga. Oleh kerana tidak perlu memanaskan ribuan kubik kaki udara di bilik bersih, penggunaan tenaga menjadi lebih sedikit untuk setiap wafer. Dalam kilang hijau, ini merupakan kelebihan yang besar. Penggunaan tenaga berkurangan, dan pelepasan CO2 juga berkurangan. Ini merupakan cara yang lebih efisien untuk memanaskan wafer.
Menjaga Kebersihan Bilik Bersih
Bilik bersih memerlukan penjagaan yang rapi. Sebarang zarah debu boleh menyebabkan masalah. Itulah sebabnya kami menggunakan elemen pemanas yang dibalut dengan kuarsa. Elemen ini tidak mengeluarkan gas atau zarah debu, jadi persekitaran tetap bersih.
Selain itu, lampu ini memberikan kuasa yang tinggi dalam saiz yang kecil. Peralatan yang digunakan juga memerlukan ruang yang lebih sedikit, dan suhu yang diinginkan dapat dicapai dengan lebih cepat. Ini mempercepatkan keseluruhan proses pengeluaran.
Cabaran yang Perlu Diatasi
Namun, segalanya bukanlah mudah. Pemanasan inframerah yang kuat boleh menyebabkan masalah jika tidak dikendalikan dengan betul. Jika wafer tersebut nipis, permukaannya boleh terlalu panas sebelum bahagian tengahnya panas.
Anda perlu berhati-hati dengan jarak antara lampu dan wafer, serta masa pemanasan. Penyesuaian yang tepat sangat penting agar wafer tidak rosak.
Menggunakannya dalam Kilang Hijau
Mengganti lampu sahaja tidak cukup. Anda memerlukan sistem kawalan yang mampu mengesan perubahan suhu secara masa nyata. Ini dapat mengelakkan sistem daripada memanaskan wafer lebih dari yang diperlukan, sehingga mengurangkan pembaziran tenaga.
Yang terbaik ialah apabila sistem ini disambungkan ke grid pintar, anda dapat mengetahui berapa banyak tenaga yang telah dijimatkan untuk setiap kumpulan wafer yang dihasilkan. Apabila pihak pengauditor datang untuk memeriksa tahap keberkesanan pengurangan karbon kilang anda, anda akan mempunyai data yang tepat untuk ditunjukkan kepada mereka.