Jangan biarkan lampu yang pecah merosakkan kualiti wafer anda
Dalam proses pengeluaran semikonduktor yang memerlukan beban kerja yang tinggi, kegagalan sebuah lampu sahaja sudah cukup untuk menyebabkan masalah besar. Bukan sahaja ia mengganggu proses pengeluaran, tetapi juga mencemarkan wafer tersebut dengan serpihan kuarsa dan oksida logam. Kesan pencemaran ini bukan sahaja merosakkan satu wafer sahaja, tetapi boleh merosakkan keseluruhan batch wafer tersebut. Ini merupakan masalah yang mahal dan menyusahkan.
Kami memutuskan untuk menyelesaikan masalah ini dengan mengubah cara pembuatan lampu inframerah tersebut.
Masalah kabel
Kabel biasa tidak mampu bertahan dalam kitaran pemanasan dan penyejukan yang berterusan pada lampu semikonduktor. Oleh itu, kabel tersebut akan rosak. Kami menggunakan lapisan Teflon (PTFE) yang berkualiti tinggi pada kabel tersebut. Mengapa? Kerana Teflon tidak akan mengeluarkan gas atau meleleh. Jika lapisan isolasi tersebut meleleh, ia akan menyebabkan kontaminasi pada wafer. Jika lapisan tersebut rosak, ia akan menyebabkan litar pintas. Teflon pula tetap stabil. Inilah ciri yang diinginkan pada kabel.
Mengelakkan kaca daripada pecah
Kebanyakan kegagalan lampu berlaku disebabkan oleh gangguan termal atau sambungan yang lemah antara kuarsa dan elektrod. Kami memperkuat sambungan tersebut untuk mengelakkan udara masuk. Ini dapat mengelakkan filamen tungsten daripada teroksida terlalu awal, sekaligus memastikan lampu tersebut berfungsi lebih lama.
Tetapi, tiada apa yang benar-benar sempurna. Itulah sebabnya kami menambah lapisan pelindung. Walaupun ia mungkin menghalang sedikit pancaran inframerah, ia dapat melindungi wafer daripada serpihan yang terhasil apabila lampu tersebut pecah. Anda mungkin kehilangan sedikit haba, tetapi wafer anda akan selamat. Itulah pertukaran yang saya sanggup lakukan setiap kali.
Perhatikan kepadatan haba
Lampu berkuasa tinggi sangat berguna untuk proses pemanasan yang cepat. Namun, haba yang tinggi ini memberi tekanan yang besar pada kuarsa. Tipsnya adalah periksa sistem penyejukan anda dengan teliti. Jika aliran udara terlalu rendah, hujung lampu akan terlalu panas dan rosak lebih awal daripada yang sepatutnya.
Yang terbaik? Lampu-lampu ini boleh digantikan secara langsung. Anda tidak perlu membina semula alat tersebut. Cuma periksa voltan dan kuasa lampu tersebut, sambungkan kabelnya, kalibrasikan alat pengukur suhu, dan anda boleh meneruskan kerja anda.